EX240-1準分子紫外線照射系統
FPD紫外線照射系統
火爆價直銷準分子紫外線照射系統
脈沖紫外線照射系統
用于FPD的紫外線系統
準分子紫外線照射裝置 ：
有2種勵磁方法 : 無線電頻 （RF） 方式和阻礙放電方式
Eye 公司的準分子紫外線放射使用RF放電方法
RF放電燈的特點
1.強紫外線輸出
2. 壽命長離子影響小（對石英管壁）
3. 無使用高電壓，所以安全性高。
4. 對輸出紫外線可調光 準分子紫外線裝置洗凈，改質效果
準分子紫外線照射器特點
1. 短波紫外線 ：氙氣準分子燈可以發射高能量，短波紫外線（172 nm）這是傳統低壓水銀無法達到的。這可
以大幅度的減少反應時間，這也是傳統低壓水銀燈無法做到的。
2. 瞬間點燈 ：不像傳統低壓水銀燈，氙氣水銀燈點燈后無需穩定時間，可即可輸出所需能量。可瞬間開或
關，無需快門，因此簡化構造。
3. 可低溫操作 ：不產生紅外線因此不會損壞部件
4. 設定多樣化照射條件 ：各種氣體 （O2 和O3, 等等.） 可導入照射室, 調溫階段可使熱處理同時使用。
用途
1. 在半導體區域，薄片和玻璃基板的干洗
2. 液晶，PDP,EL等制造程序中的干洗
準分子燈
準分子燈
模式 輸出
（Ｗ） 有效弧長
（ｍｍ） 冷卻方式 圖示
EX240-1 200 200 水 圖 1
EXH280-1 200 200 水 圖 1
EXG430-1 400 400 水 圖 1
EXH530-1 500 500 水 圖 1
EXH680-1 600 600 水 圖 1
EXH880-1 800 800 水 圖 1
EXH1230-1 1000 1150 水 圖 1
EXH1780-1※ 1700 1700 水 圖 1
EXH2380-1 2300 2300 水 圖 1
準分子照射系統
規格
照射器
模式 UEEX801
有效照射范圍 800 X 90（mm）〔參考〕
燈模式 EXH880-1
波長 172nm
照射強度 （目標） 大于等于35mW/cm2
尺寸（mm） 1,450（W）X290（D）X391（H）
重量 約95ｋｇ
模式 UEEX1153
有效照射范圍 1150X 170（mm）〔參考〕
燈模式 EXH1230-1
波長 172nm
照射強度 （目標） 大于等于35mW/cm2
尺寸（mm） 1,754（W）X500（D）X404（H）
重量 約160ｋｇ
模式 UBEX204
有效照射范圍 max200X200（mm）
燈模式 4個高頻放電準分子燈 EX240-1 Xe2*
波長 172nm
照射強度 （目標） 大約等于15ｍＷ/ｃｍ2 or
尺寸（mm） 550（W）X712（D）X326（H）
重量 約75ｋｇ
規格
電源
模式 UBEX801-3A/B
電壓 200Ｖ±10% 三面
頻率 50/60Ｈｚ
電容 ２ＫＶＡ
尺寸（mm） 430（W）X430（D）X222（H）
（不含突出部分）
重量 約15ｋｇ
規格
效用
冷卻水給/排 水質 相當城市水
溫度 20±10℃
流量 1- 2/min
壓力 0.2MPa
氮氣 純度 大于等于99.99%
流量 10 - 40/min
壓力 大于等于0.2MPa
模式 UBEX1153-3A/B
電壓 200Ｖ±10% 三面
頻率 50/60Ｈｚ
電容 ６ＫＶＡ
尺寸（mm） 430（W）X550（D）X216（H）
（不包括突出部分）
重量 約20ｋｇ
冷卻水給/排 水質 相當城市水
溫度 20±10℃
流量 4 - 6/min
壓力 0.2MPa
氮氣 純度 大于等于99.99%
流量 30 - 60/min
壓力 大于等于0.2MPa
模式 UBEX204
電壓 200Ｖ±10% 三面
頻率 50/60Ｈｚ
電容 1.5ＫＶＡ（7.5Ａ）
尺寸（mm） 480（W）X600（D）X199（H）
（不包括突出部分）
重量 約 30ｋｇ
冷卻水給/排 水質 相當城市水
溫度 10 to 30℃
水流 2.5 - 5/min
壓力 0.1 to 0.3MPa
氮氣 純度 大于等于99.99%
流量 10 to 30/min
壓力 大于等于0.3 to 0.5MPa
* 可提供弧長為400mm和600mm型
金剛石薄膜紫外線檢測
（ 模式: EVUV-200） 172nm/185nm
特點
1. 當受控于電腦時，可以遠程控制.
2.金剛石薄膜的使用，即使長時間操作也不會降低感應性能。
3. 由于忽視可視光，即使在熒光燈燈照明場所也不會產生誤差。
4. 為保護感應器免受紫外線和臭氧侵害，封閉外殼為鍍金外殼
5. 感應器受光部為承受強紫外線，課穿透172nm波長的藍寶石窗口。 特點
主機 模式 EVUV-200
測定模式 3 種模式 : 強度測量, 峰強度測量, 積算光量
功能 - 溫度測定（測定器內置感應器上部
）
- 電壓不足提醒
- 零偏移
電源/
電池壽命 堿性電池 （size AAA） × 4 ea./100小時
（ 連續操作 ）
外形尺寸 Ｗ100ＸＨ45ＸＬ211 （mm）
重量 約 400g （ 包括電池s ）
附件 感應器頭套× 1 （EVUVD-172 or EVUVD-185 ）
RS-232C兼用電線× 1
AAA 堿性電池 × 4
收納箱
感應頭套
模式 EVUVD-172 EVUV-185
校正波長 172
照射強度
（ｍＷ/ｃｍ2） 0.00～60.00
峰強度
（ｍＷ/ｃｍ2） 0.00～60.00
積算光量
（ｍＪ/ｃｍ2） 0.00～9999
外部輸入 模擬、ＲＳ-232Ｃ
尺寸（ｍｍ） Ｗ50ＸＨ17ＸＬ65 ※不包括電線
重量 （ｇ） 約150
操作環境 溫度（℃） 0- 50
※內置溫度感應器 head
濕度（％ＲＨ） 小于等于85 （無結露）
