1、真空泵的極限壓力應該滿足該工藝的要求。由于出廠真空測試是以無容積進氣口的極限壓力測試的，所以選擇泵的極限壓力低于要求約一個數量級。
2、每種泵都有一定的壓力范圍下工作，因而，泵的工作環境應該選在這個范圍之內，不允許在工作壓力以外長時間工作。
3、真空泵在其工作壓力下，應能排走真空設備工藝過程中產生的全部氣體量。
4、選擇真空機組：
（1） 當使用一種泵不能滿足抽氣及真空要求時，需要幾種泵組合起來，互相補充才能滿足工藝要求。
（2） 有的真空泵不能在大氣壓下工作，需要預真空；有的真空泵出口壓力低于大氣壓，需要前級泵，故都需要把泵組合起來使用。經組合使用的真空泵，我們稱之為真空泵機組，它能使真空系統得到較好的真空度及排氣量。
5、當您選擇以油作為密封的真空泵時，應該確保真空系統是否對油污染有要求。若設備嚴格要求無油時，應該選各種無油泵，如：水環真空泵。如果要求不嚴格，可以選擇有油泵，加上一些防油污染措施,如加冷阱、擋油阱、擋板等，也能達到清潔真空要求。
6、被抽氣體成分，氣體是否含有顆粒灰塵，有無腐蝕性等。選擇真空泵時，需要知道氣體成分，針對被抽氣體選擇相應的泵。如果氣體中含有蒸汽、顆粒、及腐蝕性氣體,應該考慮在泵的進氣口管路上安裝輔助設備，如冷凝器、過濾器等。
7、當選擇油封泵時，要考慮真空泵排出來的油蒸汽對環境的影響如何。如果環境不允許有污染，應該選無油真空泵，或者把油蒸汽排到室外。
真空泵工作壓力范圍
| 泵種類 | 油封機械泵 | 水蒸汽噴射泵 | 羅茨泵 | 油增壓泵 | 油擴散泵 |
| *工作范圍（Pa） | 105～10 | 105～102 | 102～1 | 1～10-1 | 5×10-2～10-4 |
