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真空區域的劃分及前級真空泵的選擇

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真空泵真空區域的劃分

真空區域	壓強范圍
真空區域	托（Torr）	帕（Pa）
低真空	760~10	101325~1333
中真空	10~10^-3	1333~1.33×10^-1
高真空	10-3~10^-8	1.33×10^-1~10^-6
超高真空	10^-8~10^-12	10^-6~10^-10
*真空	＜10^-12	＜10^-10

對于需要配前級泵的抽氣機組，主泵選完之后，重要的問題是如何選配合適的前級泵和預抽泵。選配前級泵的原則是：
    （1）前級泵在主泵出口處造成的壓力應低于主泵的zui大排氣壓力
    （2）前級泵應保證始終及時排出主泵所排出的氣體流量。
    （3）兼作預抽泵的前級泵要滿足預抽時間及預抽真空度的要求。
    根據主泵的工作特性不向，配泵可分為兩種情況：一種是主泵需要配前級泵，如擴散泵、分子泵等；另一種是主泵只需要配預抽真空泵，而不需要配前級泵，如各種吸附冷凝泵等。
     主泵配前級泵計算時，需要前級泵在主泵出口處形成的壓力始終低于該泵的zui大排氣壓力，主真空泵才能正常工作。普通的油擴散泵的zui大排氣壓一般為26~40Pa左右；油增壓泵的zui大排氣壓力一般為130~260yPa左右。
真空泵：雙級旋片式真空泵     直聯水環式真空泵   小型真空泵   2X旋片真空泵

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