潔凈室（Clean Room），亦稱為無塵室或清凈室。
是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除，并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內，而所給予特別設計之房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化，其室內均能俱有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。
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1.系統
室內的空氣凈化系統可分為水平層流、垂直層流和亂流。選擇氣流形式一則參照慣例，二則取決于房間的工作參數。
2.潔凈度與換氣次數
房間的潔凈度取決于單位時間的換氣次數，因此慎密考慮房間的工作性質、以及生產工藝要求，再決定凈化系統的技術參數。
3.結構
為了保證氣流幾乎不受干擾，就必須進行結構設計，必要的謹慎可以防止房間里任何地方的灰塵積累 4.設計方案
要確定設計方案，必須先對房間的工作性質以及其中的氣流條件進行認真的考慮。發塵量大的車間不宜采用地面送風形式，潔凈度要求高的車間應盡可能遠離其它車間。
5.材料 作為潔凈室頂棚，墻面和地板的材料必須是不宜破裂、不易沾顆粒，以及幾乎不起塵的材料，另外根據房間不同的工作條件，還必須考慮材料的化學性能是否穩定。
6.壓力和氣流
為了保證房間的潔凈度，必須防止外面污染氣流進入室內，要達到這個目的，房間里必須保持正壓。為了獲得所要求的房間壓力，必須補充適當的新鮮空氣。
7.輔助設備
必要時還得安置一些輔助設備：如新風口的空氣指示儀，隔斷上的傳遞窗等。這些設備必須適合房間的要求，并且必須真正了解其功能 8.人和物的控制
人和物是潔凈室的主要塵源，因此必須充分控制，例如：在進入凈化房前，所有的人都要經過人凈系統，更換無塵衣，并且要接受凈化系統功能的基本教育。
9.給排水和送風裝置及電源
根據所要運行的車間，提供必須的給排水裝置，送風裝置和電源，這些裝置和所涉及的設備必須易于使用和設計，同時不得有勃于空氣凈化系統。 潔凈室的規劃一般性的規劃重點
潔凈室的整廠規劃（Turn Key Projects）（如表3-1），因涉及范圍極廣，需建筑、水電、空調、環保、防震、制造等各項專業人才共同規劃，盡管不少潔凈室規劃，多需要就于既有的建筑物，然而，為避免失誤應盡可能事先確認下列事項： 1. 潔凈度等級。 | 2. 室壓之平衡措施。 | 3. 溫濕度要求。 | 4. 機器設備之必要性。 | 5. 確定生產流程。 | 6. 局部排氣之必要性。 | 7. 日后擴充彈性。 | 8. 足夠維護保養空間。 | 9. 空調送風方式。 | 10. 員工休息區之安排。 | 11. 設施與動力之配置。 | 12. 室內凈高與樓板載重。 | 13. 設備空間與管道間。 | 14. 門窗宜少，氣密性要佳。 | 15. 靜電、振動及噪音。 | 16. 生產線與活動線少交叉。 | 17. 公害、污染與防災。 | 18. 安裝及運轉成本之衡量。 |
潔凈室的動線規劃
所謂[動線]，是指人員、原料之入室路線，與人員與成品的出室路線。規劃時，要檢討分析人（車）路徑、配管系統、排氣管道、原料搬運和作業之流程等，盡量縮短動線，并避免交叉，以防止交叉污染（Cross Contamination）。 要點： 1．作業者、材料、化學藥品等動線勿集中。
2．制造裝置之出入，需不對作業產生大影響。
3．超潔凈室四周，宜設緩沖區（即較差潔凈區）。 工業潔凈室（ICR）之潔凈度與適用和分類表 潔凈度
產業別 | 潔凈度（≥0.5μm，個/ft3） | | LSI制造工程 | | | | | | LSI組立檢查工程 | | | | | | （矽）單結晶 | | | | | | | | 照像光罩photo mask | | | | | 光阻涂膜photoresist | | | | | 一般液晶（tn,stn） | | | | | | | | 顯示用液晶（tft,mim） | | | | | | 投影用液晶（tft） | | | | | | 混合（hybrid）IC | | | | | | | | 印刷基板材料 | | | | | | | 印刷配線板 | | | | | | | | 電晶體、二極體 | | | | | | 精密電子部品 | | | | | | | 磁頭 | | | | | | | | 磁碟 | | | | | | 電腦、磁碟裝置組立 | | | | | | | 錄影帶、光碟 | | | | | | 照像底片 | | | | | | | 光織 | | | | | | | | 精密軸承 | | | | | | 光學鏡片 | | | | | | | 半導體制造裝置 | | | | | | 潔凈管及閥類 | | | | | | LSI制造用化學藥品 | | | | | | 精密測定機制造 | | | | | | | 清洗無壓衣 | | | | | | | 印刷、制版 | | | | | | | |
生物潔凈室（BCR）之潔凈度與適用和分類表 潔凈度
產業別 | 潔凈度（≥0.5μm，個/ft3） | | （醫藥品） | | | | | | | 抗生物質 | | | | | | | 注射藥 | | | | | | | 血清 | | | | | | | 藥劑包裝過程 | | | | | | 醫療用器具 | | | | | | （病院） | | | | | | | 無菌手術室 | | | | | | | 手術室 | | | | | | 無菌病室 | | | | | | | 調劑室 | | | | | | | （食品） | | | | | | | 牛乳·乳制品 | | | | | | 食肉·食肉加工 | | | | | | 煉乳制品 | | | | | | | 清酒·酒類 | | | | | | | 糕餅·豆腐 | | | | | | | 制果·面包 | | | | | | （動物實驗） | | | | | | | 飼養區 | | | | | | 隔離區 | | | | | | | 其他 | | | | | | | 磨茹·菌類培養 | | | | | | 觀葉植物培養 | | | | | | 化妝品 | | | | | |
美國太空署（NASA）之無菌室規范重點（NHB-5340.2） 無菌室（BCR）潔凈等級 | 微粒子 | 微生物 | 粒徑 | 累積粒子數
個/ft3（個/L） | 浮游量
個/ft3（個/L） | 沈降量
個/ft2（個/M2） | 100 | ≥0.5 | ≤100（≤3.5） | ≤0.1（0.0035） | 1200（12900） | 10000 | ≥0.5 | ≤10000（≤350） | ≤0.5（0.0176） | 6000（64600） | ≥0.5 | ≤65（≤2.3） | 100000 | ≥0.5 | ≤100000（≤3500） | ≤2.5（0.0884） | 3000（323000） | ≥5.0 | ≤700（≤25） |
FS-209E潔凈度等級（1992年） 粒徑大小 | ≥0.1μm | ≥0.2μm | ≥0.3μm | ≥0.5μm | ≥5μm | 微粒子數 | 個/M3 | 個/ft3 | 個/M3 | 個/ft3 | 個/M3 | 個/ft3 | 個/M3 | 個/ft3 | 個/M3 | 個/ft3 | S1制級 | 英制級 | | | | | | | | | | | M1 | | 350 | 9.01 | 75.7 | 2.14 | 30.9 | 0.875 | 10.0 | 0.283 | | | M1.5 | 1 | 1240 | | 265 | 7.50 | 106 | 3.00 | 35.3 | 1.00 | | | M2 | | 3500 | 35.0 | 757 | 21.4 | 309 | 8.75 | 100 | 2.83 | | | M2.5 | 10 | 124000 | | 2650 | 75.0 | 1060 | 30.0 | 353 | 10.0 | | | M3 | | 35000 | 99.1 | 7570 | 214 | 3090 | 87.5 | 1000 | 28.3 | | | M3.5 | 100 | | | 26500 | 750 | 10600 | 300 | 3530 | 100 | | | M4 | | | | 75700 | 2140 | 30900 | 875 | 10000 | 283 | | | M4.5 | 1000 | | | | | | | 35300 | 1000 | 247 | 7.00 | M5 | | | | | | | | 100000 | 2830 | 618 | 17.5 | M5.5 | 10000 | | | | | | | 353000 | 10000 | 2470 | 70.0 | M6 | | | | | | | | 1000000 | 28300 | 6180 | 170 | M6.5 | 100000 | | | | | | | 3530000 | 100000 | 24700 | 700 | M7 | | | | | | | | 10000000 | 283000 | | |
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