表面微粒檢測儀

表面微粒檢測儀（SPD）測量和控制表面微粒污染的---使得其變得更好。新一代的涵蓋了我們核心的表面測量技術能夠分辨0.1微米的微粒并且大大增加了當今在潔凈室中的使用。表面微粒等級控制在0.1微米范圍內，成為了產量和過程控制中的關鍵。

優點

可預見的，每次的儀器*恢復。

減少25-50%的恢復時間

減少50%+的顆粒數

減少干燥處理及晶圓測試

減少泵的清洗周期

提升MTBC至4X或者更多

提升10%+的工具可用性

減少PM周期時間

減少故障事件

符合ISO-14644-9表面粒子規范

新型QIII ULTAR SPD 包括：

HeNe激光光學0.1微米的分辨率

采用新型的靜態采樣模式提高測量精度

新型7寸高分辨率（WVGA）屏幕，顯示清晰的圖像和文字。

新式取樣頭插座設計，取樣頭更換，更輕易，便利

雙電池插槽設計，可熱抽換，新式智慧型鋰電池設計

收集的資料現在可以被很容易的通過USB下載

通過USB接口，軟件可直接被用戶升級

6個粒徑通道，增強粒子的區分的可視性

不溶性微粒檢測儀

*時間PM自凈

如何測量過程室的潔凈度在PM期間？SPD可以大大減少PM自凈時間，green-to-green時間，并且提高了fab的吞吐量，通過使用QIII SPD，你能直接的測量物體表面精確的0.1微米的微粒。用QIII SPD開始清潔的結果是，*時間復原所有尺寸的粒子個數，讓經過處理過的工具有明顯的效果。

綠色-到-綠色 時間？（所有PM時間，包括了自凈時間）

降低了50%的自凈時間

保持低的green-to-green時間

QIII SPD 按PM實施

MTBC增長

通過結合QIII SPD在PM進程中粒子控制，MTBC可以增長。

舉例1.1：300mm介質工具

MTBC pre-QIII SPD: 174 rf hrs

MTBC post-QIII SPD: 300 rf hrs

ROI:3.6個月

舉例2.

舉例1.2：300mm金屬工具

MTBC pre-QIII SPD: 40 rf hrs

MTBC post-QIII SPD: 110 rf hrs

ROI:0.6個月