美國進口HVA 88200系列矩形真空閘板閥
伯東企業（上海）有限公司乃美國 HVA 在中國的總代理, 全權負責其在中國市場的銷售和服務.
HVA 88200系列矩形真空閘板閥特點:
ü 在閥開的狀態, 密封圈*隱藏, 可以避免粉塵顆粒污染
ü 在閥閉的狀態, 有擋板可以防止物質進入閥內部, 防止污染, 保護閥正常使用.
ü 可現場維護, VAT閥要求替換整個閥, HVA可留在系統上,維護時只取內部零件,密封圈容易清潔或替換, 可明顯節省時間和維護成本.
ü 閥體積小, 振動低.
ü 硬質不銹鋼驅動主軸, 使用壽命長.
ü 閥門板上沒有滾輪和導軌.
ü 閥體不是鑄鋁, 而是在鋁塊上機械切割出來的, 以減少鑄鋁中常見的氣泡和金屬放氣現象.
HVA 88200系列矩形真空閘板閥應用領域:
• AKT 離子系統
• Emcore/Veeco,Cree,PECVD系統
• 大學和研究所
• 薄膜沉積系統
• 濺鍍或蒸發式沉積系統
• 開口寬度從150mm到2000mm 全包括
HVA 88200系列矩形真空閘板閥與VAT（02/03系列）技術規格比較表:
| | HVA （88200系列） | VAT （02/03系列） |
| 材料 | 閥體和閥門 | 606I-T6 鋁 | EN AW-6082（3.2315） 鋁 |
| 密封波紋管 | AM-350 | AISI 633 （AM 350） |
| 驅動主軸 | 硬質不銹鋼 | AISI 316L（1.4404,1.4435） |
| 密封材料 | Viton | FKM （VITON） |
| 真空 | 真空范圍 | 1E-9 mbar | 1E-6 mbar 到 1.2 bar |
| 氦測漏 | <2E-9 mbar l/s | <1E-9 mbar l/s |
| 容許壓差 | 1 bar （雙向） | 1.2 bar （雙向） |
| 開閥前壓力 | ≥30 mbar | ≤30 mbar |
| 烘烤溫度 | 人造橡膠 | 150℃ | 150℃ |
| 動作部分 | 60℃ | 60℃ |
| 外圍部件 | 使用壓縮氣體 | 80 psig | 2-6 bar （20-90 psi） |
| 位置指示器 | 115VAC 或 28VDC, 20mA | ≤50 VAC/DC ,≤0.1 A, >5 mA |
| 使用壽命 | 3,000,000+ | 5,000,000 |
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