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從有關部門的試驗及研究結果可知，SF6氣體的毒性主要來自5個方面。
（1）SF6產品不純，出廠時含高毒性的低氟化硫、氟化氫等有毒

    大家知道，目前化工行業制造SF6氣體的方法主要是采用單質硫磺與過量氣態氟直接化合反應而成；即 S+3F2→SF6+Q（放出熱量） 。在合成的粗品中含有多種雜質，其雜質的組成和含量因原材料的純 度、生產設備的材質、工藝條件等因素的影響而有很大差異，雜質總含量可達5%。其組成有硫氟化合物，如：S2、F2、SF2、SF4、S2F10O 等；硫氟氧化合物如 SOF2、SO2F2、SOF4、S2F10O 等 以及原料中帶入的雜質如 HF、OF2、CF4、N2、O2等。為了凈化粗品中的雜質，合成后的 SF6氣 體還需要經過水洗、堿洗、熱解（去除劇毒的十氟化物）、干燥、吸附、冷凍、蒸餾提純等一系 列凈化處理過程才能得到純度在99.8%以上的產品。然后再用壓縮機加壓，充入降溫至 -80℃左右的鋼瓶中，以液態形式存在。在使用時減壓放出，呈氣態沖入電氣設備中。
    除在上面的合成過程中產生的雜質外， 另外， 在氣體的充裝過程中還可能混入少量的空氣、水分、和礦物油等雜質，這些雜質均帶有或會產生一定的毒性物質。因此，為保證 SF6產品的 純度和質量，對出廠的 SF6產品電工委員會（IEC）及許多國家均制定了質量標準，并要求生產廠家在供貨時提供生物試驗無毒證明書。
（2）電器設備內的SF6氣體在高溫電弧發生作用時而產生的某些有毒產物
    例如：SF6氣 體在電弧中的分解和與氧的反應：
2SF6 + O2 →2SOF2 + 8F（氟化亞硫酰）
2SF6 + O2 →2SOF4 + 4F（四氟化硫酰）
SF6 →SF4 + 2F（四氟化硫酰） SF6 →S + 6F（硫）
2SOF4 + O2 →2SO2F2 + 4F（氟化硫酰）
（3）電器設備內的SF6氣體分解物與其內的水分發生化學反應而生成某些有毒產物
    例如：SF6氣體分解物與水的繼發性反應： SF4 + H2O →SOF2 + 2HF   SOF4 + H2O →SO2F2 + 2HF SOF2 + H2O SO2F2 + 2H2O → SO2 + 2HF（二氧化硫） → H2SO4 + 2HF（硫酸）
（4）電器設備內的SF6氣體及分解物與電極（Cu－W 合金）及金屬材料（AL、Cu）反應而生成某些有毒產物
    例如：SF6氣體及分解物與電極或其它材料反應： 3SF6 + W → WF6（氣態）+ 3SF4
3F + AL →ALF3（固態粉末） 3SOF2 + AL2O3 →2ALF3（固態粉末）+ 3SO2
SF6 + Cu →CuF2(固態粉末) + SF6 4SF6 + W + Cu →2S2F2（氣態）+3WF6（氣態）+ CuF2（固態粉末）
（5）電器設備內的 SF6氣體及分解物與絕緣材料反應而生成某些有毒產物
    如與含有硅成分的環氧酚醛玻璃絲布板（棒、管）等絕緣件；或以石英砂、玻璃作填料的環氧樹脂澆注件、模壓件以及瓷瓶、硅橡膠、硅脂等起化學作用，生成 SiF4、Si（CH3）2F2等產物。 
信息整理：SF6分解物測試儀生產廠家揚州拓普電氣科技有限公司