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廣州市太克電子科技有限公司
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CM501型無塵室氣體監視器
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隨著大規模集成電路的發展，從無塵室中清除酸堿性氣體或顆粒等氣體污染物就成為一個很重要的課題。 在一個64-Mbit的集成電路處理中，設計要求微粒直徑為0.25mm甚至更小。 在這里用到了化學增強光學電阻，而這種電阻產生的揮發堿顆粒，如氨質子等，會導致零件的失效。 于是，為了保證正常生產就需要將堿性顆粒的濃度保持在1mg/m3以下。 該系統為了能夠高敏感度測量酸堿氣體使用了擴散吸取式采樣器。 該擴散吸取式采樣器吸收液體中的酸堿氣體后，再將其用離子色譜進行分析。 還有多通道型(16點)選配件供選擇。 兩種型號:CM501，主要測量堿性氣體;CM502，主要測量酸性氣體(氧化物、磷酸、SO2等)。 |
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| 型號:無塵室氣體檢測器 CM501及CM502系統規格
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