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上海旦順實業有限公司
硅晶片高溫真空烘箱,450度硅芯片充氮真空烤箱
硅晶片高溫真空烘箱,450度硅芯片充氮真空烤箱
產品特點:
主要技術參數:
1:電源:AC380V 3φ 50HZ 18KW
2:工作尺寸:W560×D640×H600
外形尺寸:W910×D990×H1865
3:溫度范圍:RT+10℃~450℃
4:升溫速率:2 ℃/minute~4 ℃/minute
5:降溫速率:2 ℃/minute~4 ℃/minute(400℃降至100℃,客戶需配冷卻塔)
6:外壁材料: 冷扎碳鋼板,經防銹處理后靜電噴塑,耐劃傷;
7:內膽材料: 5mm厚,SUS304不銹鋼,不銹鋼內外表面拋光;
8:保溫材料:厚度150毫米硅酸保溫棉,保溫性能良好;
9:門:真空密封緊迫;門縫自帶高溫保護.(高溫狀態下使用,為耗品,建議2-3個月更換一次)
10:真空泵: LEYBOLD真空泵.(客戶可自行購真空泵,或者制定真空泵型號);
11:真空度: ≤10 pa;
12:加熱元件:四面輻射加熱;
13:電器系統:系統采用PLC控制,加熱啟停、冷卻啟停、真空泵啟停、充氮氣啟停;
14:溫控輸出:SSR輸出,歐姆龍繼電器,固態繼電器
15:安全保護:加熱電流過流、系統短路保護、電壓過壓保護、真空泵過負載、缺相保護、電爐超溫報警等功能。
硅晶片高溫真空烘箱,450度硅芯片充氮真空烤箱
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