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半導體硅圓片清浩后干燥無氧烤箱

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具體成交價以合同協議為準

產品型號PHH-1008

品       牌

廠商性質其他

所  在  地上海

聯系方式:蔣小姐查看聯系方式

更新時間:2022-08-03 14:00:09瀏覽次數:548次

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經營模式:其他

商鋪產品:215條

所在地區:上海

聯系人:蔣小姐

產品簡介

半導體硅圓片清浩后干燥無氧烤箱

詳細介紹

 

充氮厭氧烘箱于硅片(或晶片、晶圓片、圓片)進行清洗之后干燥硅片工藝.
PHH-系列充氮厭氧烘箱特點:
1)全周氬焊,耐高溫硅膠迫緊,SUS304#不銹鋼電熱產生器,防機臺本身產生微塵;
2)耐高溫,可以達到和工作場同樣的地潔凈等級;
技術參數:
1. 型號:PHH-1008
2.工作尺寸(mm): W1400×H1300×D600 (寬*高*深)
3.外形尺寸(mm): W1990×H1850×D810 (寬*高*深)
4. 送風方式:強制送風循環。
5. 溫度范圍:RT+10℃~300℃。
6. 溫度波動:<±0.5℃。
7. 溫度均勻:±1.5% 。
    依測規范:測SENSOR置放點,離內箱壁內尺寸1/10處。
8.溫控裝置:日本富士P.I.D智能溫控儀表, LED數字顯示及設定、P.I.D自動演算、時間定時。
溫控輸出:SSR輸出,歐姆龍繼電器,固態繼電器。                   
測溫裝置:1支PT100 鉑 電阻溫度傳感裝置,測溫精確。
定時裝置:HS48S-99.99定時儀表。
9內室材料:采用 1.0mm厚度SUS不銹鋼鋼板板金折彎加工,周身做氬弧焊滿焊,密閉,氮氣不泄露;外箱優質SUS不銹鋼數字加工而成,美觀大方
10.保溫材質:硅酸鋁。
11.特質復合式SUS304#不銹鋼電熱產生器
12.保護裝置:超溫保護,欠相保護,過載保護器,蜂鳴器,開門氮氣自動中斷保護

充氮厭氧烘箱, 傳真: ,:蔣鑫,     
http://www.done-e.com


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