當(dāng)前位置：利方達（香港）有限公司北京辦事處>>>>四極質(zhì)譜殘余氣體分析儀RGA

四極質(zhì)譜殘余氣體分析儀RGA

返回列表頁

參考價

面議

具體成交價以合同協(xié)議為準

產(chǎn)品型號XT100（M）

品牌

廠商性質(zhì)其他

所在地北京市

在線詢價收藏產(chǎn)品查看聯(lián)系電話

聯(lián)系方式：劉建輝查看聯(lián)系方式

更新時間：2022-07-14 17:15:03瀏覽次數(shù)：953次

聯(lián)系我時，請告知來自環(huán)保在線

產(chǎn)品分類 品牌分類

暫無信息

利方達（香港）有限公司北京辦事處

經(jīng)營模式：其他

商鋪產(chǎn)品：8條

所在地區(qū)：北京北京市

聯(lián)系人：劉建輝（區(qū)域經(jīng)理）

詢價 給他留言

產(chǎn)品簡介

美國EXTORR公司四極質(zhì)譜殘余氣體分析儀（RGA）

特點及應(yīng)用：

操作簡單

可靠，方便

在線原位分析真空環(huán)境及工藝氣體

定性或定量分析監(jiān)測濺射鍍膜反應(yīng)工藝過程中真空室內(nèi)的氣體分壓強

優(yōu)化工藝過程參數(shù)，提高鍍膜產(chǎn)品質(zhì)量

對真空系統(tǒng)檢漏

在工藝中的效果

改善質(zhì)量

提高流片量

減少停機時間

改進工藝

縮小工藝周期

降低成本

詳細介紹

美國EXTORR公司四極質(zhì)譜殘余氣體分析儀（RGA）

特點及應(yīng)用：

•操作簡單

•可靠，方便

•在線原位分析真空環(huán)境及工藝氣體

•定性或定量分析監(jiān)測濺射鍍膜反應(yīng)工藝過程中真空室內(nèi)的氣體分壓強

•優(yōu)化工藝過程參數(shù)，提高鍍膜產(chǎn)品質(zhì)量

•對真空系統(tǒng)檢漏

在工藝中的效果

•改善質(zhì)量

•提高流片量

•減少停機時間

•改進工藝

•縮小工藝周期

•降低成本

規(guī)格：

測量氣體范圍 XT100（M） XT200（M） XT300（M）	1到100 amu 1到200 amu 1到300 amu
檢測類型	法拉第杯（FC）或電子倍增器（EM）
靈敏度（A/mbar）	5×10^-4torr，法拉第杯，氮28, 10%峰高
分辨率	1 amu ，10%峰高
zui小可檢分壓強	10^-11torr或10^-14 torr（電子倍增器），氮28，10%峰高
工作范圍	10^-4torr到超高真空
工作環(huán)境zui高溫度	40°C
烘烤溫度	300°C（不包括CCU）
通訊端口	RS-232C，115,200 Baud
軟件運行環(huán)境	Windows® 2000或XP