等離子凈化器又稱低溫等離子廢氣凈化器，在電催化總的設計概念下，分三個即獨立又混成的激發系統：微波激發區、等離子激發區、極板激發區。每個激發區有它特定的功能，但在原理上有它相似的地方。
等離子廢氣凈化器技術特點：
1、技術反應速度快，氣體通過反應區的速度達到3-15米/秒，即達到很好的處理效果。
2、運行成本較低，比常用的蓄熱式燃燒爐RTO節約運行費用5-8倍，每立方米氣量運行費用僅為0.3～0.9分錢。
3、等離子廢氣處理設備主機為成套工業廢氣處理裝置，前面配有專用塔，能有效去除廢氣中的粉塵和水分，操作簡單。
4、等離子廢氣凈化器技術應用于惡臭氣體治理，具有處理效果好，運行費用低廉、無二次污染、運行穩定、操作管理簡便、即開即用等優點。
5、介質阻擋放電產生電子能量高，低溫等離子體密度大，達到常用等離子技術(電暈放電)的1500倍，幾乎可以和所有的惡臭氣體分子作用。
6、氣體通過部分，全部采用陶瓷、石英、不銹鋼等防腐蝕材料，電極與廢氣不直接接觸，根本上解決了低溫等離子廢氣處理技術設備腐蝕問題。
7、等離子廢氣處理技術處理工業廢氣技術不是水洗技術，是通過 量等離子體對污染物的直接擊穿和直接轟擊，使分子鏈斷裂，并非污染物的轉移。
8、自動化程度高，設備啟動、停止十分迅速，隨用隨開，對于部分化工生產的不連續性，可以在生產時開啟，不生產的間隙停止運行，大量的節約能源。
9、應用范圍廣闊，基本不受氣溫和污染物成分的影響，對惡臭異味的臭氣濃度有良好的分解作用，惡臭異味的去除率達80-98%，處理后的氣體臭氣濃度達到 標準。
10、重要特點：以非甲烷總烴為例，用色譜法檢測，非甲烷總烴去除率也許只有45%，但惡臭異味的去除率達90%。這是因為非甲烷總烴經過處理后，部分分子變成小分子，用色譜法檢測時，依然表現為非甲烷總烴。惡臭異味的去除率高，表明實際已經分解了90%以上的污染物質，因為分解后的物質也有部分有異味。
等離子廢氣凈化器工藝原理
介質阻擋放電過程中，電子從電場中獲得能量，通過碰撞將能量轉化為污染物分子的內能或動能，這些獲得能量的分子被激發或發生電離形成活性基團，同時空氣中的氧氣和水分在 電子的作用下也可產生大量的新生態氫、臭氧和羥基氧等活性基團，這些活性基團相互碰撞后便引發了一系列復雜的物理、化學反應。從等離子體的活性基團組成可以看出，等離子體內部富含 化學活性的粒子，如電子、離子、自由基和激發態分子等。廢氣中的污染物質與這些具有較 量的活性基團發生反應，終轉化為CO2和H2O等物質，從而達到凈化廢氣的目的。
