高精度行星減速機是行業內對行星減速機的另一種稱呼。它的主要傳動結構為行星輪，太陽輪，內齒圈。
相對其他減速機，精密行星減速機具有高剛性、高精度（單級可做到1分以內）、高傳動效率(單級在97%-98%)、高的扭矩/體積比、終身免維護等特點。多數是安裝在步進電機和伺服電機上，用來降低轉速，提升扭矩，匹配慣量。
性能參數
減 速 比：輸入轉速比上輸出轉速。
級 數：行星齒輪的套數。由于一套行星齒輪無法滿足較大的傳動比，有時需要二套或三套來滿足用戶對較大傳動比的要求。由于增加了行星齒輪的數量，所以二級或三機減速級的長度會有所增加，效率會有所下降。
滿載效率：指在最大負載情況下（故障停止輸出扭矩），減速機的傳輸效率。
平均壽命：指減速機在額定負載下，最高輸入轉速時的連續工作時間。
額定扭矩：減速機的一個標準。在此數值下，當輸出轉速為100轉/分鐘時，減速機的壽命為平均壽命。超過此值，減速機平均壽命會減少。當輸出扭矩超過兩倍該值時，減速機故障。
潤滑方式：無需潤滑。減速機為全密封方式，故在整個使用期內無需添加潤滑脂。
噪 音：單位是分貝（dB）。此數值是在輸入轉速為3000轉/分鐘時，不帶負載，距離減速機一米距離時測量的。
回程間隙：將輸出端固定，輸入端順時針和逆時針方向旋轉，使輸出端產生額定扭矩+-2%扭矩時，減速機輸入端有一個微小的角位移，此角位移即為回程間隙。單位是“弧分"，即一度的六十分之一。通常的回程間隙值均指減速機的輸出端。
