① 陶瓷過濾器。陶瓷過濾器是使用比較廣泛的一種過濾器。它采用剛性的微孔材料做濾芯，如陶瓷、碳化硅、剛玉、砂芯、不銹鋼粉末等。為了防止過大的氣流吹壞陶瓷杯，過大的氣流使灰塵黏附在過濾杯上造成堵塞，必須在陶瓷杯外加防護罩。為了減少無效容積，過濾器底部做成錐形，同時增加一個分路接頭，一方面把灰塵吹走，另一方面由于氣體不斷流動而加速氣體交換，減少滯后時間。設計時候還應考慮陶瓷杯的更換及清洗方便。
② 化學過濾器。化學過濾器是指采用化學試劑對樣品中有害組分或水分進行吸收或吸附，從而產生過濾效果的一種過濾器。根據采用化學試劑的種類化學過濾器可以分為干式化學過濾器和濕式化學過濾器兩類。
③ 編織纖維過濾器。在灰塵、機械雜質小于10-20μm時，可采用編織過濾器。它是一種比較通用、便于維護的過濾器、它對水相當敏感，若樣品中有水或接近飽和的水蒸氣則不能使用，否則容易造成堵塞。選用纖維要根據工藝流程特點和樣品含塵的性質來決定。
④ 紙質過濾器。它是一種適用于含懸浮粉塵（如炭黑等）或焦油，而其他部件難以處理達到要求的一種成本低廉的過濾器。它的紙質是多孔纖維，比普通紙稍厚，類似于濾紙。可過濾0.3μm的微粒，具有90%以上的捕集效率。它的壓降很小，約為98pa，若樣氣很臟，用一段時間后孔隙會被堵塞，可采用雙路并行結構切換使用，以便連續運行，不中斷取樣。
自清掃式過濾器。這是一種用得較多的預處理部件。不同使用對象，其材料除不銹鋼粉末冶金外還可用銅，特殊的地方用特種合金粉末冶金做濾芯。根據目前的制作加工技術，做成的濾芯可以過濾1μm的微粒。含雜質的樣品從左側進入過濾器后分成兩路，一路經濾芯過濾后的清潔樣品進入下一個預處理器或者直接送入分析器進行分析。另一路將濾芯壁上滯留的粉塵、機械雜質、油污、水霧等雜質通過氣樣本身的吹掃作用吹掃入底部而帶出過濾器。從而達到自清掃的目的。由于這種過濾器能夠自身清掃濾芯，因此，對它的維護量很小。
