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（LQS）兩路質量供混氣系統 型號:WH/MXGQ-2Z庫號：M403821
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- 所在地 北京市
更新時間：2017-08-29 09:19:41瀏覽次數：1190
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產品簡介
(LQS）兩路質量供混氣系統 型號:WH/MXGQ-2Z庫號：M403821 (LQS）兩路質量供混氣系統 型號:WH/MXGQ-2Z庫號：M403821 (LQS）兩路質量供混氣系統 型號:WH/MXGQ-2Z庫號：M403821
2路質子混氣系統/質量流量控制器/兩路質量供混氣系統 型號:WH/MXGQ-2Z
庫號：M403821 查看hh
midwest-group
用于控制一種或兩種的氣體流經真空密封的管式爐，這種氣體控制系統安裝在移動架上，管式爐可以放在它的上面，氣體控制系統的前面板上有控制并顯示氣體流量的調節閥。結合微行爐業的管式爐，它可以用于CVD系統及退火爐，用來研究氣體環境對材料的影響。
質量流量控制器
工作電壓：220V
大輸出功率：18W
控制范圍：
控制器1：1-199 SCCM
控制器2：1-499 SCCM
工作溫度：5-45 oC
大壓力：3x 10^6 Pa
準確度：±1%FS
機械壓力表測量范圍：-0.1-0.15MPa(0.01 MPa/grid)
型閥：304不銹鋼
混氣罐：Φ80*120MM
截止閥：Φ1/4 304不銹鋼
外形尺寸：600*600*650MM
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