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聯電將在32nm制程采用HKMG 計劃2010年推出

閱讀:707發布時間:2009-3-17

半導體芯片制造商聯華電子(UnitedMicroelectronicsCorp,UMC)本周三正式宣布,該公司已經在45納米SRAM產品上正式驗證了其高K金屬閘極(High-KMetalGate,HKMG)技術,這代表著聯電在芯片制造工藝上的一個重大里程碑。據透露,聯電將會在下一代32/28納米制程上運用高K金屬閘極技術,聯電新一代的32/28納米制程預計將于2010年正式服役。

聯電*技術研發部門副總裁S.C.Chien表示,“聯電正在平穩發展自己的高K金屬閘極技術,并且正在朝著32/28納米試生產的方向發展,未來我們的客戶將可以享受到高K金屬閘極技術所帶來的性能優勢。盡管目前經濟前景并不透明,但是聯電仍將繼續全速朝向我們的技術研發方向努力。憑借我們zui近在28納米SRAM芯片上所取得的進展,再配合的高K金屬閘極制程材料保證,相信當我們的32/28納米制程正式服役后將可以為客戶提供一個強勁的技術平臺方案。”

2008年10月份,聯電生產出了晶圓制造業*塊28納米SRAM芯片,該芯片基于聯電低漏電(low-leakage,LL)制程,同時利用了*的雙重曝影(
double-patterning)浸潤式微影技術與應變硅(strainedsilicon)技術。

聯電在32/28納米制程上實際上是為自己上了一個雙保險,其32/28納米制程面向不同的市場應用將會推出不同的解決方案。其中,在便攜領域聯電將會為其LL低漏電制程采用傳統的硅閘極/氮氧化硅閘極氧化技術,這對諸如手機IC芯片等低功耗便攜應用領域是相當理想的。高K金屬閘極堆疊技術則主要將面向速度密集型產品,比如顯卡、應用處理器以及高速通信IC芯片等。不過聯電方面的政策相當靈活,事實上根據聯電的說法,如果有必要的話客戶*可以定制采用高K金屬閘極技術的32/28納米制程來制造低功耗應用芯片,以滿足個別用戶的特殊需求。

今年早些時候,聯電主要競爭對手臺積電(TaiwanSemiconductorManufacturingCo.)曾表示,該公司的28納米制程將只采用高K金屬閘極技術。臺積電28納米制程也是預定于2010年正式服役,不過事實上32納米制程的實際上馬的時間相比28納米制程而言要更早一些,聯電的32納米制程支持高K金屬閘極技術而臺積電的32納米卻并不支持高K金屬閘極技術,所以在某種程度上來說,聯電確實已經在高K金屬閘極技術上將臺積電挑下了馬。


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