GFM17質量流量計/GFC17質量流量控制器系列 代碼 量程(mL/min) 代碼 量程(L/min) 01 0 to 10 07 0 to 1 02 0 to 20 08 0 to 2 03 0 to 50 09 0 to 5 04 0 to 100 10 0 to 10 05 0 to 200 11 0 to 15 06 0 to 500 GFM37質量流量計/GFC37質量流量控制器系列 代碼 量程(L/min) 代碼 量程(L/min) 30 0 to 20 32 0 to 40 31 0 to 30 33 0 to 50
GFM47質量流量計/GFC47質量流量控制器系列 代碼 量程(L/min) 代碼 量程(L/min) 40 0 to 60 42 0 to 100 41 0 to 80
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