平行平晶
簡介
具有兩個（或個）光學測量平面的正圓柱形或長方形的量規(guī)。光學測量平面是表面粗糙度數(shù)值和平面度誤差都極小的玻璃平面，它能夠產生光波干涉條紋（見激光測長技術）。平晶有平面平晶和平行平晶兩種。平面平晶用于測量高光潔表面的平面度誤差，為用平面平晶檢驗量塊測量面的平面度誤差。平行平晶的兩個光學測量平面是相互平行的，用于測量兩高光潔表面的平行度誤差，例如千分尺兩測量面的平行度誤差.平晶用光學玻璃或石英玻璃制造。圓柱形平面平晶的直徑通常為 45～150毫米。其光學測量平面的平面度誤差為:1級精度的為0.03～0.05微米；2級精度的為0.1微米。常見的長方形平面平晶的有效長度般為200毫米。
平行平晶：是以光波干涉原理為基礎，利用平晶的測量面與試件的被測量面之間所出現(xiàn)的干涉條紋來測量被測量面的誤差。平行平晶據(jù)有高精度的平面性和平行性。
具體規(guī)格：
每組平行平晶共四塊，分四個尺寸系列組
測量面上平面度偏差： <0.1μm
平面度局部偏差： >0.03μm
測量面平行度誤差： 組Ⅰ系列允差值：0.06μm
組Ⅱ、Ⅲ系列允差值：0.08μm
組Ⅳ系列允差值：0.1μm
測量面上平面度偏差： <0.1μm
平面度局部偏差： >0.03μm
測量面平行度誤差： 組Ⅰ系列允差值：0.06μm
組Ⅱ、Ⅲ系列允差值：0.08μm
組Ⅳ系列允差值：0.1μm
組Ⅰ | 平行平晶 | 0－25mm | 4塊/組 |
組Ⅱ | 平行平晶 | 25－50mm | 4塊/組 |
組Ⅲ | 平行平晶 | 50－75mm | 4塊/組 |
組Ⅳ | |||
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