測量顯微鏡107JPC
、用途:
測量顯微鏡107JPC采用透、反射的方式對工件長度和角度作精密測量。特別適用于大規(guī)模集成電路線寬以及其它精密另件測量。廣泛地適用于計量室,生產(chǎn)作業(yè)線以及科學研究等部門。
在107J基礎(chǔ)上加裝光柵測量尺,數(shù)據(jù)采集系統(tǒng),將測量數(shù)據(jù)導入計算機進行數(shù)據(jù)處理,可進行各種復(fù)雜的二維幾何測量。測量顯微鏡107JPC是光、機、電體化的高科技精密測量儀器。
二、技術(shù)規(guī)格
鏡筒 | 粗 動 | 調(diào)節(jié)范圍 90毫米 |
微 動 | 調(diào)節(jié)范圍 2毫米 |
高(Z)測量 | 1毫米更小讀數(shù)0.001毫米(干分表讀數(shù)) |
鏡 筒 | 雙目鏡筒 俯角45° |
工作臺 | 左右(X軸) | 移動范圍50毫米 |
前后(Y)軸 | 移動范圍50毫米 |
分 辨 率 | 1微米 |
旋 轉(zhuǎn) | 360° |
照明系統(tǒng) | 光源 | 透射照明 | 8V-15W 藍、綠濾色片 |
反射照明 | 8V-12W 磨砂燈泡 綠色濾色片 |
斜照明 | 8V-15W |
電 源 | AC 220V±10% 50/60HZ |
光學系統(tǒng) | 目 鏡 | BWF 10X |
物 鏡 | 4X 工作距離17.5 焦距28.8 |
10X 工作距離11.6 焦距15.4 |
40X 工作距離0.66 焦距4.4 |
107JA測量顯微鏡采用光柵尺和數(shù)據(jù)箱,并配有計算機圖象處理系統(tǒng)。還可選配增加視頻圖像系統(tǒng),在計算機屏幕上直接瞄準。
通過計算機接口和二維測量程序可使被測工件的輪廓直接構(gòu)圖在計算機屏幕上,由AutoCAD進行編輯。
二維測量程序包括點、線、園、弧、直線度、園度、螺紋、凸輪等測量功能。
107JA測量顯微鏡放大倍數(shù)高,工作臺除作X,Y坐標的移動外,還可以作360°的旋轉(zhuǎn),亦可以進行高度方向Z坐標的測量。照明系統(tǒng)除作透、反射照明外,還有斜光線照明。