化學工業廢氣主要來源于化學工業的每一個行業產品的生產和加工過程。在各個化工產品的每個生產環節都會因各種原因而產生和排放廢氣。如化學反應中產生的副反應和反應不*；生產工藝不完善，生產過程不穩定，產生不合格的產品；生產中物料的跑、冒、滴漏以及事故性的排放等。

特點

化學工業廢氣的種類繁多，排氣量大，廢氣中的組成復雜。化工廢氣常含有多種有毒致癌、致畸、致突變、惡臭、強腐蝕性及易燃易爆的組分，其中，化肥工業、無機鹽、堿、有機原料及合成材料、農用藥、涂料和煉焦行業排放的廢氣量較大。此外，由于大中小化工企業遍布各地，故這些廢氣種類繁多，組成復雜，污染面廣，對大氣造成較嚴重的污染。所以化工廢氣處理刻不容緩。


低溫等離子體技術：

低溫等離子體技術是近年來發展起來的另一種VOCs治理新技術。低溫等離子體技術治理VOCs的主要原理是在較高的電場強度下，利用介質放電產生的等離子體以極快的速度反復轟擊廢氣中的氣體分子，去激活、電離和裂解廢氣中的各種成分，破壞VOCs分子的結構。通過氧化等一系列復雜的化學反應，使復雜大分子污染物轉變為一些小分子的安全物質，如CO2、H2O、CO和NO2;或使有毒有害物質轉變為無毒無害或低毒低害物質。低溫等離子體技術動力消耗低，裝置簡單，易于操作，占地面積小，使用方便，近年來得到迅速發展。