廢氣處理的原理有活性炭吸附法、催化燃燒法、催化氧化法、酸堿中和法、等離子法等多種原理。

催化燃燒法
脫臭原理：在高溫下惡臭物質與燃料氣充分混和，實現*燃燒適用范圍：適用于處理高濃度、小氣量的可燃性氣體。優點：凈化效率高，惡臭物質被*氧化分解。缺點：設備易腐蝕，消耗燃料，處理成本高，易形成二次污染。
水吸收法
脫臭原理：利用臭氣中某些物質易溶于水的特性，使臭氣成分直接與水接觸，從而溶解于水達到脫臭目的。適用范圍：水溶性、有組織排放源的惡臭氣體。優點：工藝簡單，管理方便，設備運轉費用低 產生二次污染，需對洗滌液進行處理。缺點：凈化效率低，應與其他技術聯合使用，對硫醇，脂肪酸等處理效果差。
 藥液吸收法
脫臭原理：利用臭氣中某些物質和藥液產生化學反應的特性，去除某些臭氣成分。適用范圍：適用于處理大氣量、高中濃度的臭氣。優點：能夠有針對性處理某些臭氣成分，工藝較成熟。缺點：凈化效率不高，消耗吸收劑，易形成而二次污染。
吸附法
脫臭原理：利用吸附劑的吸附功能使惡臭物質由氣相轉移至固相。適用范圍：適用于處理低濃度，高凈化要求的惡臭氣體。優點：凈化效率很高，可以處理多組分惡臭氣體。缺點：吸附劑費用昂貴，再生較困難，要求待處理的惡臭氣體有較低的溫度和含塵量。

 低溫等離子體技術
脫臭原理：介質阻擋放電過程中，等離子體內部產生富含*化學活性的粒子，如電子、離子、自由基和激發態分子等。廢氣中的污染物質與這些具有較高能量的活性基團發生反應，終轉化為CO2和H2O等物質，從而達到凈化廢氣的目的。適用范圍：適用范圍廣，凈化效率高，尤其適用于其它方法難以處理的多組分惡臭氣體，如化工、醫藥等行業。優點：電子能量高，幾乎可以和所有的惡臭氣體分氣箱脈沖布袋除塵器的常見故障及解決措施。