不同的有機廢氣成分、濃度適用不同的有機廢氣處理方式，應用為廣泛的還是活性炭吸附法。但是活性炭吸附法存在適用期限到后廢活性炭洗脫回收成本大、存在污染轉移等缺點，因此新型吸附-催化燃燒法已在技改中或新建項目中被普遍應用。
而低溫等離子凈化法因其后期維護成本低等優點正受到越來越多企業的青睞，但也存在設備投資成本高等問題。相信隨著技術和工業的發展，低溫等離子凈化技術會越來越成熟，設備投資也會隨之下降，屆時將會得到普遍應用。
有機廢氣，有直接燃燒法
直接燃燒法就是利用燃氣等輔助性材料將廢氣點燃，促使其中的有害物質在高溫燃燒下轉變成無害物質，該方法投資小，操作簡單，適用于濃度高、風量小的廢氣，但其安全技術要求較高。
有機廢氣，有催化燃燒法
催化然后就是將廢氣加熱經催化燃燒后轉變成無害的二氧化碳和水。該方法適用于溫度高、濃度高的有機廢氣凈化處理中，其具有燃燒溫度低、節能、凈化率高、占地面積少等優點，但投資較大。
吸附法
吸附法又可分成三種：
直接吸附法：利用活性炭對有機廢氣進行吸附凈化處理，凈化率可達95%以上，該方法設備簡單、投資少，但需要經常更換活性炭，頻繁的裝卸、更換等程序增加運行費用。
吸附-回收法：利用纖維活性炭吸附有機廢氣，使其在趨近飽和狀態下過熱蒸汽反吹，實現脫附再生。
低溫等離子凈化法
低溫等離子體是繼固態、液態、氣態之后的物質第四態，當外加電壓達到氣體的放電電壓時，氣體被擊穿，產生包括電子、各種離子、原子和自由基在內的混合體。
放電過程中雖然電子溫度很高，但重粒子溫度很低，整個體系呈現低溫狀態，所以稱為低溫等離子體。低溫等離子體降解污染物是利用這些高能電子、自由基等活性粒子使污染物分子在極短的時間內發生分解，并發生后續的各種反應以達到降解污染物的目的。
揮發性有機污染物(VOCs)傳統的處理方法如吸收、吸附、冷凝和燃燒等，對于低濃度的VOCs很難實現，而光催化降解VOCs 又存在催化劑容易失活的問題，利用低溫等離子體處理VOCs可以不受上述條件的限制，具有潛在的優勢。
但由于等離子體是一門包含放電物理學、放電化學、化學反應工程學及真空技術等基礎學科之上的交叉學科。因此，目前能成熟的掌握該技術的單位非常少，大部分宣傳采用低溫等離子技術處理廢氣的宣傳都不是真正意義上的低溫等離子廢氣處理技術。
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