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超純水工藝流程

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產(chǎn)品簡介

超純水工藝流程電子工業(yè)用超純水工藝流程介紹電子工業(yè)用超純水概述：半導(dǎo)體、集成電路芯片及封裝、液晶顯示，高精度線路板、光電器件、各種電子器件、微子工業(yè)、大規(guī)模、超大規(guī)模集成電路需用大量的高純水、超純水清洗半成品、成品

詳細(xì)介紹

超純水工藝流程

電子工業(yè)用超純水工藝流程介紹

電子工業(yè)用超純水概述：

半導(dǎo)體、集成電路芯片及封裝、液晶顯示，高精度線路板、光電器件、各種電子器件、微子工業(yè)、大規(guī)模、超大規(guī)模集成電路需用大量的高純水、超純水清洗半成品、成品。集成電路的集成度越高，對水質(zhì)的要求也越高。目前我國電子工業(yè)部把電子級水質(zhì)技術(shù)分為五個(gè)行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，分別為18MΩ.CM、15MΩ.CM、10MΩ.CM、2MΩ.CM、0.5MΩ.CM，以區(qū)分不同水質(zhì)。電子行業(yè)制備超水的工藝大致分為以下幾種：

1、采用離子交換樹脂制備超純水的傳統(tǒng)水處理方式，其基本工藝流程為：原水→沙炭過濾器→精密過濾器→原水箱→陽床→陰床→混床（復(fù)床）→純水箱→純水泵→后置精密過濾器→用水點(diǎn)。

2、采用反滲透水處理設(shè)備與離子交換設(shè)備進(jìn)行組合的方式，其基本工藝流程為：原水→沙炭過濾器→精密過濾器→原水箱→反滲透設(shè)備→混床（復(fù)床）→純水箱→純水泵→后置精密過濾器→用水點(diǎn)。

3、采用反滲透水處理設(shè)備與電去離子（EDI）設(shè)備進(jìn)行搭配的方式，這是一種制取超純水的工藝，也是一種環(huán)保，經(jīng)濟(jì)，發(fā)展?jié)摿薮蟮某兯苽涔に嚕浠竟に嚵鞒虨椋涸?rarr;沙炭過濾器→精密過濾器→原水箱→反滲透設(shè)備→電去離子（EDI）→純水箱→純水泵→后置精密過濾器→用水點(diǎn)。

三種制備電子工業(yè)用超純水的工藝比較

1、種采用離子交換樹脂其優(yōu)點(diǎn)在于初投資少，占用的地方少但缺點(diǎn)就是需要經(jīng)常進(jìn)行離子再生，耗費(fèi)大量酸堿，而且對環(huán)境有一定的破壞。

2、第二種采用反滲透作為預(yù)處理再配上離子交換設(shè)備，其特點(diǎn)為初投資比采用離子交換樹脂方式要高，但離子設(shè)備再生周期相對要長，耗費(fèi)的酸堿比單純采用離子樹脂的方式要少很多，但對環(huán)境還是有一定的破壞性

3、第三種采用反滲透作預(yù)處理再配上電去離子（EDI）裝置，這是目前制取超純水經(jīng)濟(jì)，環(huán)保用來制取超純水的工藝，不需要用酸堿進(jìn)行再生便可連續(xù)制取超純水，對環(huán)境沒什么破壞性。其缺點(diǎn)在于初投資相對以上兩種方式過于昂貴。

關(guān)鍵詞：芯片離子交換樹脂精密過濾器反滲透水處理設(shè)備反滲透設(shè)備

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