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深圳市泰道精密機電有限公司
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NanoPWM驅動器-代替線性驅動器
利用ACS所有的NanoPWM技術，產品線PWM驅動器提供的*的靜止抖動和平滑的速度性能，相較于經典的商業上可用的線性驅動器。
NanoPWM驅動器是Z*驅動器用于450MM和300MM晶圓制程平臺，也可以用于其他需要以平滑的速度和亞納米級抖動的高速度和加速度的伺服控制
NanoPWM驅動器-代替線性驅動器NanoPWM驅動器-代替線性驅動器
利用ACS所有的NanoPWM技術，產品線PWM驅動器提供的*的靜止抖動和平滑的速度性能，相較于經典的商業上可用的線性驅動器。
ACS的NanoPWM驅動器提供的運動性能（保證的），減小安裝尺寸，減少熱耗散，和經濟的價格。NanoPWM驅動器是zui*驅動器用于450MM和300MM晶圓制程平臺，也可以用于其他需要以平滑的速度和亞納米級抖動的高速度和加速度的伺服控制應用。
用一個Spilplus的控制器和NanoPWM驅動器控制一個直線平臺，可以達到下面的性能：
*靜止抖動好于0.3納米（機械平臺）
*跟隨誤差在速度100MM/秒時為10納米（氣浮平臺）
納米定位和高速度
當需要高速度，納米定位的分辨率時，OEM廠家至今局限于昂貴的激光干涉儀反饋系統，用ACS的10MHZ SpilplusSin-Cos編碼器差分器，控制系統設計師現在有了經濟的替換方案，用模擬量光學編碼器或者激光原理的超快編碼器就夠用了。
zui精確和柔性的龍門控制
對于高精度龍門定位平臺，有兩個電機（每個有自己的反饋）被用來控制一個軸。ACS運動控制已經開發了*和有力的算法提供*水準的定位精確度，速度穩定性，和整定時間。
龍門算法主要特征： 優勢：
*帶解耦環的MIMO控制 *更高的帶寬
*縱向伺服環控制 *更好的穩定性
*旋轉（偏擺）方向伺服環控制 *zui小的軸相互干擾
*自動力/編碼器調度作為橫梁軸位置的函數 *調試簡單
*偏擺角的動態補償 *可靠的操作
*剛性龍門和柔性龍門都適合
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