電子超純水設備的工藝基本上是以上三種，其余的工藝流程大都是在以上三種基本工藝流程的基礎上進行不同組合搭配衍生而來。現將他們的優缺點分別列于下面：
種采用傳統的離子交換樹脂其優點在于初次投資少，占用的地方少，但缺點就是需要經常進行離子再生，耗費大量酸堿，而且對環境有一定的破壞。
第二種采用反滲透+離子交換設備，其特點為初次投資比采用離子交換樹脂方式要稍高，但離子再生周期相對要長，耗費的酸堿比單純采用離子樹脂的方式要少很多。是比較經濟與流行的一種工藝。
第三種采用反滲透作預處理再配上電去離子裝置，這是目前制取超純水，的的工藝，不需要用酸堿進行再生便可連續制取超純水，對環境沒什么破壞性。其缺點在于初次投資相對以上兩種方式過于昂貴。
電子工業用超純水edi設備的應用領域
1、半導體材料、器件、印刷電路板和集成電路成品、半成品用超純水;
2、超純材料和超純化學試劑勾兌用超純水;
3、實驗室和中試車間用超純水;
4、汽車、家電表面拋光處理;
5、光電子產品;
6、其他高科技精微產品;
EDI原理
EDI 利用混和離子交換樹脂吸附水中的陰陽離子，同時這些被吸附的離子又在直流電壓的作用下，分別透過陰陽離子膜而被去除。
電子超純水設備的工作原理是兩個淡水室和一個濃水室離子交換過程。面向正極的陰離子膜與面向負極的陽離子膜之間構成濃水室;面向負極的陰離子膜與面向正極的陽離子膜之間組成淡水室。淡水室和濃水室中間夾著陰、陽離子樹脂，當水從淡水室和濃水室流過時，離子交換樹脂就吸附了水中的離子，在CDI 模塊兩端的電極提供了橫向的直流電場，直流電場驅動離子交換樹脂所吸附的離子穿過離子膜，其結果是降低了淡水室中水的離子濃度和增加了濃水室中水的離子濃度，從而使得淡水室中水的純度越來越高。 CDI 模塊就是由許多這樣的基本單元組合在一起并聯工作的。
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