質量流量計常用于需要精確測量氣體流量的系統。ALICAT質量流量計，高精度密、可重復、可定制化、被設計用于各種不同應用的質量流量計，采用的層流壓差技術保證了速度極快的線性測量，默認的標準功能包括：200：1量程可調比，可精確測量滿量程兩百分之一的流量；內置130種氣體可選，為客戶減少由于氣體種類多樣性而造成的不必要的庫存；多功能的按鈕操作數字顯示屏，為用戶提供了無需任何通訊產品優勢

詳細介紹

一、ALICAT質量流量計，高精度產品特點

操作簡單

Alicat 質量流量計(M系列)作為一個獨立設備，帶有多功能數字顯示屏，用戶可通過面板按鈕調節參數，無需連接但腦或其他任何復雜的編程軟件。

測量精確

標準型Alicat 質量流量計(M系列)的精度為±(0.8% Rdg + 0.2% F.S.)，增加高精選配項則可達±(0.4% Rdg + 0.2% F.S.)。

高性價比

ALICAT質量流量計，高精度(M系列)本身耗電極小，從而降低了系統運營的成本，且相比與同類產品，其壓損亦相對較小，降低壓損意味著更多氣體進入到系統中，而不是停留在測量儀器中。除質量流量外，M系列質量流量計還可同時測量體積流量、壓力和溫度，您無需另外采購和安裝其它設備。使用累加器(TOT)功能可顯示流經氣體總量，是監控整個應用過程及減少氣體浪費的有效的方法。

性能

M系列質量流量計可測量從0.5SCCM到3000SLPM的滿量程的任何流量，配有多種模擬信號輸出及RS-232數字信號輸出。該系列質量流量計亦有便攜式型號(MB系列)，采用一塊普通9伏電池供電，即成為一款二等標準流量校準設備。

反應靈敏

10毫秒典型反應時間

體積嬌小

ALICAT氣體質量流量計嬌小的本體使其極易被安裝于系統中或作為一款單獨的校準設備隨身攜帶。

高重復性

Alicat 的技術使得質量流量計幾乎沒有可移動部件，所有零件都被內置固定，腔體內不存在物理變化，從而具有較高的*性和重復性。M系列質量流量計的重復性可達±0.2% F.S。

值得信賴

現有超過90000臺Alicat設備正被使用在不同領域中，如：科學研究、泄漏測試、環境監測、真空鍍膜、半導體、汽車制造、光伏、燃料電池、光纖制造、計量以及過程工藝氣體測量等。所有Alicat 設備均具有NIST可溯源校準證書。

二、ALICAT質量流量計，高精度性能參數

指標	ALICAT氣體質量流量計
量程	0.5SCCM，1SCCM，2SCCM，5SCCM，10SCCM，50SCCM，100SCCM....2000SLPM，3000SLPM，4000SLPM
精度	±0.8%讀數±0.2%滿量程（可選高精度：±0.4%讀數±0.2%滿量程）
重復性	±0.2%
量程比	200:1
響應時間	10ms
標準狀態(STP)	25℃&14.696PSIA （101.325kPa）
溫度范圍	-10～50
零點漂移	0.02％
量程漂移	0.02％
濕度范圍	0-*
測量流量范圍	128％（過流率）
zui大耐壓	145psi
輸出信號（數字）	質量流量、體積流量、壓力和溫度
數字信號可選	RS485，Modbus，Profibus
輸出信號（模擬）	質量流量、體積流量、壓力和溫度
模擬信號可選	0-5VDC,1-5VDC,0-10VDC，4-20mA
電氣連接	8針/9針/15針（根據不同類型流量計而定）
供電電壓	7-30VDC（4-20mA輸出時為：15-30VDC）
供電電流	0.035A（4-20mA輸出時為：0.055A）