ALICAT耐腐蝕氣體質(zhì)量流量控制器采用全316L不銹鋼結(jié)構(gòu)及密封的316L不銹鋼傳感器，可根據(jù)不同應(yīng)用需求選擇相應(yīng)的彈性密封材料，如：FFKM、EPDM、Viton及Buna-n等。Alicat的層流壓差技術(shù)能以驚人的速度測量氣體質(zhì)量流量，且具備一系列標(biāo)準(zhǔn)性能，如：200：1量程可調(diào)比、內(nèi)置30種氣體可選、多功能數(shù)字顯示屏及有條件的終身質(zhì)保等。

詳細(xì)介紹

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一、ALICAT耐腐蝕氣體質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)

操作簡單

Alicat 質(zhì)量流量計(jì)&質(zhì)量流量控制器操作極其簡單，用戶可通過多功能數(shù)字顯示屏調(diào)節(jié)參數(shù)，無需連接電腦或其它任何復(fù)雜的編程軟件。

精確控制

Alicat 標(biāo)準(zhǔn)型質(zhì)量流量計(jì)&質(zhì)量流量控制器的精度為±(0.8% Rdg + 0.2% F.S.)，幾乎所有型號(hào)通過增加高精選配項(xiàng)可達(dá)±(0.4% Rdg + 0.2% F.S.)。

高性價(jià)比

Alicat 質(zhì)量流量計(jì)&質(zhì)量流量控制器本身耗電極小，從而降低了系統(tǒng)運(yùn)營的成本，且相比于同類產(chǎn)品，其壓損較低，降低壓損意味著更多氣體進(jìn)入到系統(tǒng)中，而不是停留在測量&控制設(shè)備中。除質(zhì)量流量外，Alicat 質(zhì)量流量計(jì)&質(zhì)量流量控制器還可同時(shí)測量體積流量、壓力和溫度，您無需另外采購和安裝其它設(shè)備。使用累加器(TOT)功能可顯示流經(jīng)氣體總量，是監(jiān)控整個(gè)應(yīng)用過程及減少氣體浪費(fèi)的zui有效的方法。MCS系列的模塊化設(shè)計(jì)使其成為真空應(yīng)用的選擇。

性能

MS/MCS系列質(zhì)量流量計(jì)&質(zhì)量流量控制器可測量與控制從0.5SCCM到3000SLPM的滿量程的任何流量，除了RS-232數(shù)字信號(hào)輸出，還配有多種模擬信號(hào)輸出。MS系列質(zhì)量流量計(jì)亦有便攜式型號(hào)(MBS系列)，采用一塊普通9伏電池供電，即成為一款適用于腐蝕性氣體的二等標(biāo)準(zhǔn)流量校準(zhǔn)設(shè)備。

反應(yīng)靈敏

與相應(yīng)標(biāo)準(zhǔn)型M/MC系列相同，MS/MCS系列質(zhì)量流量計(jì)&質(zhì)量流量控制器(防腐蝕型)其測量響應(yīng)小于10毫秒、控制響應(yīng)為100毫秒。

高重復(fù)性

Alicat 的技術(shù)使得質(zhì)量流量計(jì)&質(zhì)量流量控制器幾乎沒有可移動(dòng)部件，所有零件都被內(nèi)置固定，腔體內(nèi)不存在物理變化，從而具有較高的*性和重復(fù)性。所有Alicat 質(zhì)量流量計(jì)&質(zhì)量流量控制器的重復(fù)性可達(dá)±0.2% F.S。

值得信賴

現(xiàn)有超過90000臺(tái)Alicat設(shè)備正被使用在不同領(lǐng)域中，質(zhì)量流量控制器主要應(yīng)用于醫(yī)藥、半導(dǎo)體、燃料電池、如：科學(xué)研究、泄漏測試、環(huán)境監(jiān)測、真空鍍膜、半導(dǎo)體、汽車制造、光伏、燃料電池、光纖制造、計(jì)量以及過程工藝氣體測量&控制等。所有Alicat 設(shè)備均具有NIST可溯源校準(zhǔn)證書。

二、ALICAT耐腐蝕氣體質(zhì)量流量控制器標(biāo)準(zhǔn)性能

多功能數(shù)字顯示屏
顯示多種測量參數(shù)：質(zhì)量流量、體積流量、溫度和壓力
低壓損
無需預(yù)熱
316L不銹鋼本體&傳感器
FFKM、Viton、Buna或EPDM密封材料可選
可調(diào)節(jié)PID算法 (僅用于質(zhì)量流量控制器)
內(nèi)置130種常用氣體可選，開放COMPOSER? — 氣體編輯器，允許用戶自定義混合氣體組分
200:1 量程可調(diào)比

三、ALICAT耐腐蝕氣體質(zhì)量流量控制器性能參數(shù)

指標(biāo)	ALICAT耐腐蝕氣體質(zhì)量流量控制器
量程	0.5SCCM，1SCCM，2SCCM，5SCCM，10SCCM，50SCCM，100SCCM....1500SLPM，2000SLPM，3000SLPM
精度	±0.8%讀數(shù)±0.2%滿量程（可選高精度：±0.4%讀數(shù)±0.2%滿量程）
重復(fù)性	±0.2%
量程比	200:1
響應(yīng)時(shí)間	100ms
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)(STP)	25℃&14.696PSIA （101.325kPa）
溫度范圍	-10～50
零點(diǎn)漂移	0.02％
量程漂移	0.02％
濕度范圍	0-*
測量流量范圍	128％（過流率）
zui大耐壓	145psi
輸出信號(hào)（數(shù)字）	質(zhì)量流量、體積流量、壓力和溫度
數(shù)字信號(hào)可選	RS485，Modbus，Profibus
輸出信號(hào)（模擬）	質(zhì)量流量、體積流量、壓力和溫度
模擬信號(hào)可選	0-5VDC,1-5VDC,0-10VDC，4-20mA
電氣連接	8針/9針/15針（根據(jù)不同類型流量計(jì)而定）
供電電壓	7-30VDC（4-20mA輸出時(shí)為：15-30VDC）
供電電流	0.035A（4-20mA輸出時(shí)為：0.055A）