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廣州乘方自動化設備有限公司
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CM505無塵室氣體監視器通過塵埃器測定法實現無污染在線氣體監視，測量時間為1個小時。還可選用多光束型（16點）。該系統可根據要求監視氨氣（或陽離子）和酸性氣體（陰離子）。
CM505無塵室氣體監視器
用于半導體工廠的CM505無塵室氣體監視器
隨著LSI集成度的提高，以及大型FPD生產的推動，清除無塵室中氨氣和酸性氣體等氣體污染物，顯得日益重要。為滿足此要求，監視氣態污染物，并定期檢查化學過濾器的化學性能十分重要。為達到此目的，通常采用的測試方法是塵埃器測定法。然而，傳統的塵埃器測定法不適合*測量，且會由于操作員引起交叉污染。
CM505無塵室氣體監視器通過塵埃器測定法實現無污染在線氣體監視，測量時間為1個小時。還可選用多光束型(16點)。該系統可根據要求監視氨氣(或陽離子)和酸性氣體(陰離子)。
特性
通過塵埃器進行氣體采樣，同時采集氣體和顆粒/霧狀污染物。
氨氣測量靈敏度達到0.01μg/m3。
酸性氣體(HCl，SO2，NO2)測量靈敏度同樣可達到0.02μg/m3。
系統可根據要求監視硼酸，F-和有機酸(CH3COO-，HCOO-)。
全自動系統及無人測量。
采用高可靠的分析方法，即離子色譜法。
可選化學過濾器生命周期預測軟件和多光束切換型(zui多16點)。
規格
測量 |
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氣體采樣方法 | 塵埃器測定法 | |||||
分析方法 | 離子色譜法 | |||||
測量量程 |
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zui小檢測限制 |
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測量周期 | zui短60分鐘或90分鐘 | |||||
測量點 | 一點或zui多16點(選配件) | |||||
標定 | 使用標準溶液標定，自動標定 | |||||
外部接點輸入 | 測量流路切換信號，外部報警信號，外部報警復位信號 | |||||
外部接點輸出 | 異常濃度信號(用于每種流體，繼電器接點)， | |||||
電源 | 100～120V AC，50/60Hz | |||||
重量 | 根據規格不同，約為150～180kg |
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