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小流量氣體質(zhì)量流量計(jì)

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產(chǎn)品型號(hào)WDR

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更新時(shí)間：2021-12-04 13:08:27瀏覽次數(shù)：180次

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上海皖科電子科技有限公司

經(jīng)營(yíng)模式：生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品：1275條

所在地區(qū)：上海上海市

聯(lián)系人：陳先生（銷售經(jīng)理）

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

WDR系列小流量氣體質(zhì)量流量計(jì)采用溫度變化對(duì)應(yīng)于質(zhì)量流量的原理，可以對(duì)不同的氣體進(jìn)行流量量測(cè)及控制。小流量氣體質(zhì)量流量計(jì)可應(yīng)用在5SCCM到30SLM的氣體流量范圍，并且不會(huì)受到溫度及壓力變化的影響。

詳細(xì)介紹

小流量氣體質(zhì)量流量計(jì)產(chǎn)品簡(jiǎn)介：

：陳經(jīng)理

WDR系列小流量氣體質(zhì)量流量計(jì)采用溫度變化對(duì)應(yīng)于質(zhì)量流量的原理，可以對(duì)不同的氣體進(jìn)行流量量測(cè)及控制。

可應(yīng)用在5SCCM到30SLM的氣體流量范圍，并且不會(huì)受到溫度及壓力變化的影響。

產(chǎn)品系列完整，可選擇數(shù)字式，模擬式，普通，高精度，高壓力型，性能且價(jià)格具有競(jìng)爭(zhēng)力，應(yīng)用領(lǐng)域廣泛。

小流量氣體質(zhì)量流量計(jì)/流量控制器：

低單價(jià)

環(huán)境溫度補(bǔ)正

小流量氣體質(zhì)量流量計(jì)可應(yīng)用的流率范圍廣：

0～5，10，20，30，50，100，200，500SCCM

0～1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30SLM

高精度

±1%(≤15SLM)

±1.5%(＞15SLM.)

可選用LF系列控制模塊，具有數(shù)位顯示、電源供應(yīng)、流量設(shè)定等功能

國(guó)際兼容

小流量氣體質(zhì)量流量計(jì)用氮?dú)?N2)標(biāo)定。

標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)規(guī)定為：

標(biāo)準(zhǔn)溫度………………0℃（273.15K）

標(biāo)準(zhǔn)壓強(qiáng)………………101325Pa

功能		流量計(jì)/控制器
基本型號(hào)		WDR
滿量程流量范圍(N2)	SCCM	0～5，10，20，30，50，100，200，500
	SLM	0～1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30
精度(％F.S)		±1(≤15SLM)
		±1.5(＞15SLM.)
控制閥動(dòng)作型式		常閉式
線性(％F.S.)		±0.5～1(≤15SLM)
		±1.5％(＞15SLM.)
重復(fù)精度(％F.S.)		±0.2
響應(yīng)時(shí)間(sec)		≤1
流量輸出信號(hào)		0-+5.00V
流量設(shè)定信號(hào)		0-+5.00V
電器接頭		DB15 pin(接頭)
工作環(huán)境溫度	(℃)	5～45
工作壓差	(MPa)	0.1～0.5
漏率	SCCSHe	1×10-9
*大耐壓		3MPa
介質(zhì)接觸材質(zhì)		304，316，316L
密封材料		氟橡膠，硅橡膠，丁腈橡膠，聚四氟乙烯
接頭		VCR " 1/4、1/2
		Swagelok1/8"、1/4" 、3/8" 、1/2"或φ3、φ6、φ8、φ10、φ12mm
接頭和尺寸		Φ6mm,1/4"Swagelok:127×28×100mm 1/4"VCR:127×28×100mm
電源要求		+15V,50mA;-15V,200mA
重量		1.0KG