| 迅達真空設備有限公司
主營產品： 真空泵 |
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四極質譜計的檢漏方法以分子泵為主抽泵，三極式鈦離子泵為輔助泵的金屬超高真空系統為例，泵對真空室部分的有效抽速約為50升／秒，該系統專為真空器件放氣特性測試而設計。四極質譜計有倍增器和法拉第筒兩種接收方式，設二個質量量程，分別為1－50和2－200原子質量單位，進行檢漏工作時用低質量數量程。迅達真空泵主要操作原理說明如下：1.全質量量程掃描，判斷真空殘氣狀態當真空系統壓強低于1×10－3Pa后，可開啟質譜計（本文用倍增器接收離子流，以獲得高的靈敏度和檢測速度），測試1－50質量數量程的全譜圖說明真空系統的氣氛質量。M為18的水峰為主峰，說明真空殘氣是水，系統必須進行烘烤除氣，待水峰明顯下降后，再進行有無漏氣的詳細判斷。新裝的真空系統，往往有*的水峰存在。如果元件沒有進行干燥預處理，水峰高度可占有所有峰高和的百分之90以上。除高強度的水峰存在外，其它的質譜峰幾乎都是碳氫化合物的碎片峰，它們來自各種殘留有機洗液、返流的泵油蒸汽。高分子量的碳氫化合物在質譜計離子源中會裂解成許多低分子量碎片，它們將以密集的群譜形式出現，zui強的群出現在低質量數端，如12－16，28、40和55附近，質量數越高，峰強越弱。一個還沒有烘烤足夠的真空系統的典型殘氣質譜圖，它的殘氣主要為氫、水和各種碳氫化合物的碎片峰，單據該圖還不能判斷有無漏孔存在。
如果真空系統的極限壓強大于10－3Pa量級，一般是管道法蘭密封安裝不準確或管道有很大的漏孔。這種量級的漏孔，一般沒有必要用質譜檢漏，可方便地用酒精、丙酮等化學溶劑進行涂擦式檢漏。這種涂擦式檢漏，直觀、易控制。當溶劑涂擦到漏孔部位時，溶劑分子通過漏孔進入真空室內，與電離真空計進行反應（燈絲熱分解和電子碰撞分解），表現為規管靈敏度增高，使規管壓強讀數值增加，從而確定漏點。我們用質譜計監測了這個過程，溶劑分子通過漏孔時，因是液體，流量比空氣小，致使真空計壓強指示值先變小，然后隨液體流量逐漸增加，造成壓強指示值重新增加到一個穩定值。這個變化過程有1－2秒之長，在質譜圖上沒有發現溶劑分子有明顯的流動延時過程，壓強讀數增加值變量大于減值，可相差5倍以上。漏孔大，差值大。
迅達真空泵廠通過實驗表明，丙酮的靈敏度（壓強指示增加值變量）比酒精高3倍左右，變化過程典型明顯。酒精易造成漏孔的堵塞，漏孔小時變化過程不明顯，甚至只出現壓強指示值減小過程。與質譜檢漏法反復對比，證明在真空系統壓強值約接近1×10－5Pa時，折合漏率在2×10－3PaL／S時，液體示漏法已失效。要重復測試時須吹熱風以排除剩余溶劑。丙酮易揮發，重復測試方便。檢漏操作時，應盡量減少溶劑分子進入系統內的流入量，造成額外的對真空系統的碳氫化合物污染。在壓強高于10－4Pa量級時，我們原則不*用質譜計直接驗漏，一是液體檢漏法很直接可靠；二是初裝真空系統，一般是壓強高、碳氫化合物污染重，質譜計在這樣的條件下工作時電極易污染，會顯著縮短質譜管清洗周期；三是在這種不良氣氛下，很難獲得良好的檢漏導向能力。
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