1、空心陰極燈的維護
(1)空心陰極燈如長期擱置不用，會因漏氣、氣體吸附等原因不能正常使用，甚至不能點燃，所以每隔2-3個月應將不常用的燈點燃2-3小時，以保持燈的性能。
(2)空心陰極燈使用一段時間以后會衰老，致使發光不穩，光強減弱，噪聲增大及靈敏度下降，在這種情況下，可用激活器加次激活，或者把空心陰極燈反接后在規定的大工作電流下通電半個多小時。多數元素燈在經過激活處理后其使用性能在一定程度上得到恢復，延長燈的使用壽命。
(3)取、裝元素燈時應拿燈座，不要拿燈管，以防止燈管破裂或通光窗口被沾污，導致光能量下降。如有污垢，可用脫脂棉蘸上1+3的無水乙醇和乙mi混合液輕輕擦拭以予清除。
2、氚燈的維護
不要在氚燈電流調節器處于很大值時開啟氚燈，以免因大電流的沖擊而影響使用壽命。使用氚燈切勿頻繁啟閉，以免影響其使用壽命。
3、透鏡的維護
外光路的透鏡，不應用手觸摸，要保持清潔，透鏡表面如落有灰塵，可用洗耳球吹去或用擦鏡紙輕輕擦掉，千萬不能用嘴去吹，以免留下口水圈。如沾有污垢，可用乙醇乙mi混合液清洗。光學零件不能用汽油等溶劑和重鉻酸鉀-硫酸液清洗。石墨爐原子化器，在石墨管兩端的透鏡易被樣液污染，經常要檢查清洗。
4、霧化燃燒系統的維護
(1)全系統的維護
分析任務完成后，應繼續點火，噴入去離子水約10分鐘，以清除霧化燃燒系統中的任何微量樣品，溢出的溶液，特別是有機溶液滴，應予以清除，廢液應及時清倒。每周應對霧化燃燒器系統清洗一次，若分析樣品濃度較高，則每天分析完畢都應清洗一次。若使用有機溶液噴霧或在空氣-乙炔焰中噴入高濃度的Cu、Ag、Hg鹽溶液，則工作后應立即清洗，防止這些鹽類可能會生成不穩定的乙炔化合物，易引起爆炸。有機溶液的清洗方法是先噴與樣品互溶的有機溶液5分鐘，再噴丙酮5分鐘，然后再噴1%HNO3 5分鐘，后再噴去離子水5分鐘。
(2)噴霧器的維護
如發現進樣量過小，則可能是毛細管被堵塞，若毛細管被氣泡堵塞，可把它溶液中取出，繼續通壓縮空氣，并用手指輕彈動即可。若被溶質或其它物質堵塞，可點火噴純溶劑，如無改善，可用軟細金屬絲清除。若仍然不通，則應更換毛細管。
(3)霧化室的維護
霧化室必須定期清洗，清洗時可先取下燃燒器，可用去離子水從霧化室上口灌入，讓水從廢液管排走。若噴過濃酸、堿溶液及含有大量有機物的試樣后，應馬上清洗。注意檢查排液管下的水封是否有水，排液管口不要插進廢液中，防止二次水封導致排液不暢
(4)燃燒器的維護
燃燒器的長縫點燃后應呈現均勻的火焰，若火焰不均勻，長時間出現明顯的不規則變化---缺口或鋸齒形，說明縫被碳或無機鹽沉積物或溶液滴堵塞。需清除。可把火焰熄滅后，先用濾紙插入揩拭。如不起作用可吹入空氣，同時用單面到刀片沿縫細心刮除，讓壓縮空氣將刮下的沉積物吹掉，但要注意不要把縫刮傷。必要時可卸下燃燒器，拆開清洗。
5、石墨爐的維護
石墨爐與石墨管連接的兩個端面要保護平滑，清潔，保證兩者之間緊密聯接。如發現石墨錐有污垢要立即清除，防止隨氣流進入石墨管中，做成測量誤差，影響測試結果。石墨爐溫度的標定：可取高純金屬絲Φ0.5nm長3-5cm插入石墨爐中按工作程序升溫，從金屬絲頭部看是否熔融而知溫度標稱值與實際溫度之差(見表1)
6、自動進樣器的維護
(1)毛細管進樣頭的維護
如毛細管進樣頭變臟，可吸取20%的HNO3清洗；如果嚴重晚去或變形，用刀片割去損壞部分
(2)注射器和沖洗瓶的維護
經常檢查注射器有無氣泡，如有，則應小心清除；經常清洗沖洗瓶，保持沖洗瓶干凈。
7、其它
經常檢查Ar氣、乙炔氣和壓縮空氣的各個連接管道，保證不泄露；經常檢查乙炔的壓力，保證壓力大于500KPa(100psi)，防止丙酮揮發進入管道而損壞儀器。
