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目錄:北京海富達科技有限公司>> m315833 氣體流量傳感器/氣體流量計
產品簡介：
5000系列專為普通氣體的監控而設計。由于我公司的信號跟蹤檢定能力設計，該傳感器可直接測量流體質量?？蓚蓽yzui低流速為20 nL/min的流體。傳感器可應用于多氣流管道的測量、泄漏偵測，HVAC控制，凈化空氣或氮氣監控，環境設備如空氣采樣機、分析儀器如GC分光儀。
5001可設定為可測滿量程為1-1000 sccm （1 SLPM），并可根據客戶需求進行定制。該產品可即插即用，具有多種用途。
產品特點：
?。瓕榱髁扛櫆y量而設計，測流量zui低可達20nL/min
?。谑皆O計可應用于多氣道
?。焖夙憫獣r間有利于精密測量的應用
?。诜治鲈O備表現，如：GC分光儀
－多樣化的可調節方式可輕松應用于不同環境
?。瓋戎冒踩寮蛇m用于更多的應用中
5001 單 位
滿量程 1 to 1000 sccm （NmL/min）
工作電壓 8~18 Vdc
輸出方式 RS232, I2C, 模擬
zui大輸出 4.5 Vdc
精度 ±（1.5+0.2FS） %讀數
重復性 ±0.75 %讀數
零點飄移 0.5 Vdc
響應時間 50 msec
zui大壓力 0.8 MPa
工作溫度 -20~+70 °C
標準校準氣體 空氣
機械連接 O型密封圈
選型表：
型號
電氣接口
機械接口
zui大工作
壓力
準確度
zui大流量
5001-5SCCM
5Pin插針
平面密封
0.6MPa
±（1.5+0.5FS）%
5SCCM
5001-50SCCM
5Pin插針
平面密封
0.6MPa
±（1.5+0.5FS）%
50SCCM
5001-200SCCM
5Pin插針
平面密封
0.6MPa
±（1.5+0.5FS）%
200SCCM
5001-500SCCM
5Pin插針
平面密封
0.6MPa
±（1.5+0.5FS）%
500SCCM
5001-1SLPM
5Pin插針
平面密封
0.6MPa
±（1.5+0.5FS）%
1SLPM
5001-2SLPM
5Pin插針
平面密封
0.6MPa
±（1.5+0.5FS）%
2SLPM
歷史資料:2009-12-15版本
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