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變溫霍爾效應測量儀報價變溫霍爾效應測量儀報價（含安裝培訓，帶電腦） 型號:CH-500H庫號：M381636   高低溫霍爾效應測試系統型號：CH-500H

本儀器系統由電磁鐵、電磁鐵電源、高精度恒流源、高精度電壓表、霍爾效應樣品支架、標準樣品、高低溫杜瓦，控溫儀，系統軟件組成。為本儀器系統專門研制的CH-320A效應儀將恒流源，六位半微伏表及霍爾測量復雜的切換繼電器——開關組裝成一體，大大減化了實驗的連線與操作。CH-320A可單獨做恒流源、微伏表使用。用于測量半導體材料的載流子濃度、遷移率、電阻率、霍爾系數等重要參數，而這些參數是了解半導體材料電學特性預先掌控的，因此霍爾效應測試系統是理解和研究半導體器件和半導體材料電學特性的工具。實驗結果由軟件自動計算得到，可同時得到體載流子濃度(Bulk Carrier Concentration)、表面載流子濃度(Sheet Carrier Concentration)、遷移率(Mobility)、電阻率(Resistivity)、霍爾系數(Hall Coefficient)、磁致電阻(Magnetoresistance)等等。

系統參數：

我們可提供各類霍爾效應測試系統用于教學和研究

可測試材料：

物理學參數：載流子濃度

（Carrier Density） 103cm-3 ～ 1023cm-3

遷移率（Mobility） 0.1cm2/volt*sec ～108cm2/volt*sec

電阻率范圍（Resistivity） 10-7 Ohm*cm～1010 Ohm*cm

霍爾電壓

（Hall voltage） 0.1uV ～ 10V

霍爾系數 10-3 ～ 105cm3/C

可測試材料類型：半導體材料 SiGe, SiC, InAs, InGaAs, InP,AlGaAs, HgCdTe和鐵氧體材料等

低阻抗材料 石墨烯、金屬、透明氧化物、

弱磁性半導體材料、TMR材料等

高阻抗材料 半絕緣的GaAs, GaN, CdTe等

材料導電粒子 材料的P型與N型測試

磁場環境：磁鐵類型 可變電磁鐵

磁場大小 600mT（極頭間距為：45mm）

均勻區 1%

小分辨率 0.1Gs

可選磁環境 可根據客戶需求定制相關磁性大小的電磁鐵，

電學參數：電流源 1.00nA-1000.00mA

電流源分辨率 0.001nA

測量電壓 0～±10V

電壓測量分辨率 0.0001mV

溫度環境：80K ～ 800K（高低溫溫度調節0.1K）

控溫精度 小于0.05%F.S±1個字

其他配件：遮光性 外部安裝遮光部件，使得測試材料加穩定

樣品尺寸 10mm*10mm

箱式機柜 600*600*1000mm

測試樣片 提供中國科學院半導體所霍爾效應

標準測試樣片及數據：1套

（硅、鍺、砷化鎵、銻化銦）

制作歐姆接觸 電烙鐵、銦片、焊錫、漆包線等

儀器介紹：

如下表格為各個儀器的詳細技術指標：

序號 名稱 主要技術參數

儀器1 CH-100

電磁鐵 1、磁場強度（Magnet Flux Density）

N，S 間距 10mm 時大磁場 1900mT

N，S 間距 20mm 時大磁場 1300mT

N, S 間距 30mm 時大磁場 900mT

N, S 間距 40mm 時大磁場 800mT

N, S 間距 45mm 時大磁場 600mT

3、磁場均勻區（Uniformity）：間隙 10mm 時直徑 20mm 范圍均勻度為 1%

3、電磁鐵參數

3.1、極柱直徑φ：100mm

3.2、極頭直徑φ：60mm

3.3、極頭間隙可調范圍：0 ～ 100mm

3.4、線圈內阻：10.0Ω

3.5、磁場穩定性：±0.3Gs（24h 時間內）

3.6、自重：110Kg

3.7、自帶移動車輪，可根據客戶需要隨意變動放置位置

儀器2 CH-20045

恒流源 1、輸出電壓：輸出電壓范圍 0V—±100V DC，

開路輸出電壓為 120V±8V @10A

2、輸出電流：–10A ～ +10A DC（電流線性漸變速率 0.01A/s—2A/s 連續可選）

3、高步進分辨率 0.1mA（1/100000 F.S.）

4、準確度 ±（0.2%設置值+5mA）、

穩定度優于?±0.1% @10A

5、噪聲/紋波：10mA RMS 典型值 @10A

6、 RS-232 接口可數控極性轉換，方便進行自動化試驗過程

7、交互能力： 白色背光 FSTN LCD 顯示器，的 LED 狀態指示器，與顯示器和指示器配合的3/4 鍵交互型功能鍵盤操作，標準配備 RS-232C計算機接口和易用的接口特性，完備的計算機接口命令集，掃描過程中的定時連續觸發輸出功能

8、負載保護功能：儀器掉電保護、儀器過溫保護、儀器過流保護、儀器過功率保護。

儀器3 CH-1500

高斯計 1、量程：±0.1Gs ～ ±30kGs

2、分辨率：0.1Gs

3、精度：讀數的±0.3%±0.05%量程

4、測磁傳感器厚度為1.0mm，長度為100mm

5、人機交互：明亮的寬屏高清液晶屏，

4?位顯示，標準9針“D"型RS232連接器

6、自動化：完備的計算機指令，可通過數據通訊，實時在電腦界面監測并控制測試樣品周圍的磁場環境

儀器4 CH-320A

樣品恒流源 1、電流輸出基本分辨力0.001nA，電壓測量基本分辨力0.0001mV

2、輸出量程：1.00nA-1000.00mA中間可以0.001nA步進連續可調

3、測量電壓：0～±10V大量程測試電壓滿足高阻芯片的測試

4、內置自動變換的四相陣卡，可實現霍爾效應范德堡法的自動測量

5、良好的人機交互界面，方便使用者進行手動調節

6、完備的上位機指令，可與電腦進行通訊完成各項操作

儀器5 恒源器

（高低溫） 1、液氮恒溫器溫度測試范圍：80K ～ 800K（測量速率達20次/秒）

2、測溫精度：全量程范圍內為0.1K（PT100 鉑電阻）

3、測溫方法：四引線電阻法

4、真空度：關閉閥門后可保持腔體內部小于0.1Pa

5、接插件：標準用DP6針插頭和DP8針插頭，其中6芯用于溫度傳感器，兩芯用于加熱器，剩余八芯測量線供使用者從恒溫器連接到測量儀表，可自行定義。

儀器6 TC-202

控溫儀 1、測控溫溫區：1.4 K--- 850 K（具體范圍需依據使用溫度計的型號而定）

2、控溫誤差：小于0.05%F.S ±1個字（可對溫漂、時漂進行自動補償）

3、分辨率：1/60000

4、加熱功率輸出：過零開斷的位式調節，0-- 24V，大 2A濾波直流輸出

5、可提供兩路PID型溫度控制，大輸出功率為100W

儀器7 上位機軟件 1、可實現一鍵自動化測量，檢測開始后無需人員進行操作即可進行測量。

2、在軟件中進行設置可進行自動變溫測量。

3、軟件中可進行I-V曲線、B-V曲線以及測量的各個半導體參數對于溫度t的曲線圖

4、軟件內進行的模塊化設計，方便客戶使用以及進行相關功能的開發

5、實驗結果測量完成，數據將暫時保存在軟件中，如需要長期保存可將數據導出至EXCEL表格中，方便后期的數據處理

6、提供中國科學院半導體所霍爾效應標準測試樣片及數據：1套

儀器 8 配套儀器裝置 1、標準 600mm*600mm*1000mm（長*寬*高）箱式機柜，內置 6 芯插排，數量和功率均滿足各使用儀器電源的同時使用要求

2、標準接口用 FX-8 型號機械真空泵，速度可達：3L/S

3、恒溫器固定裝置，帶滑軌可實現恒溫器帶動樣片的移動。

4、磁場傳感器探頭固定裝置：全鋁非導體支架5-70mm 可調

5、溫度測量與控制連接線固定裝置

6、制作樣品上歐姆接觸焊點的相應工具：電烙鐵、銦片、焊錫、漆包線等

儀器 9 樣品測試臺 本套高低溫霍爾效應測試系統中采用的是彈簧壓針法固定樣品，相對于以前焊接信號連接線方式加方便快捷。

常規夾持樣品尺寸：10mm*10mm

大夾持樣品尺寸為：16mm*16mm

小夾持樣品尺寸為：1.5mm*1.5mm。