主要性能指標:
玻璃處理室:Φ100mm、高度130mm
試樣臺尺寸:Φ40mm可同時放6個樣品杯
金靶尺寸:Φ58mm
真空系統:直聯旋片真空泵2L/S
真空檢測:皮氏計
真空保護:20Pa配有微量充氣閥調節工作真空
工作室工作媒介氣體:空氣或氬氣,配有氬氣專用進氣口和微量充氣調節
主要性能指標:玻璃處理室:Φ100mm、高度130mm試樣臺尺寸:Φ40mm可同時放6個樣品杯金靶尺寸:Φ58mm真空系統:直聯旋片真空泵2L/S真空檢測:皮氏計真空保護:20Pa配有微量充氣閥調節工作真空工作室工作媒介氣體:空氣或氬氣,配有氬氣專用進氣口和微量充氣調節主要性能指標:
玻璃處理室:Φ100mm、高度130mm
試樣臺尺寸:Φ40mm可同時放6個樣品杯
金靶尺寸:Φ58mm
真空系統:直聯旋片真空泵2L/S
真空檢測:皮氏計
真空保護:20Pa配有微量充氣閥調節工作真空
工作室工作媒介氣體:空氣或氬氣,配有氬氣專用進氣口和微量充氣調節
主要性能指標:
玻璃處理室:Φ100mm、高度130mm
試樣臺尺寸:Φ40mm可同時放6個樣品杯
金靶尺寸:Φ58mm
真空系統:直聯旋片真空泵2L/S
真空檢測:皮氏計
真空保護:20Pa配有微量充氣閥調節工作真空
工作室工作媒介氣體:空氣或氬氣,配有氬氣專用進氣口和微量充氣調節
主要性能指標:
玻璃處理室:Φ100mm、高度130mm
試樣臺尺寸:Φ40mm可同時放6個樣品杯
金靶尺寸:Φ58mm
真空系統:直聯旋片真空泵2L/S
真空檢測:皮氏計
真空保護:20Pa配有微量充氣閥調節工作真空
工作室工作媒介氣體:空氣或氬氣,配有氬氣專用進氣口和微量充氣調節