設(shè)備概覽

基于拉曼光譜法的半導(dǎo)體參數(shù)測試儀，具有非接觸、無損檢測、特異性高的優(yōu)點。可以對半導(dǎo)體材料進(jìn)行微區(qū)分析，空間分辨率＜ 800nm （典型值），也可以對樣品進(jìn)行掃描從而對整個面進(jìn)行均勻性分析。設(shè)備具有智能化的軟件，可對數(shù)據(jù)進(jìn)行擬合計算，直接將載流子濃度、晶化率、應(yīng)力大小或者分布等結(jié)果直觀的展現(xiàn)給用戶。系統(tǒng)穩(wěn)定，重復(fù)性好，可用于實驗室檢驗或者產(chǎn)線監(jiān)測。

① 光路接口盒：

內(nèi)置常用激光器及激光片組，拓展激光器包含自由光及單模光纖輸入；

② 光路轉(zhuǎn)向控制：

光路轉(zhuǎn)向控制可向下或向左，與原子力、低溫、探針臺等設(shè)備連用，可升級振鏡選項

③ 明視場相機：

明視場相機代替目鏡

④ 顯微鏡：

正置科研級金相顯微鏡，標(biāo)配落射式明暗場照明，其它照明方式可升級

⑤ 電動位移臺：

75mm*50mm 行程高精度電動載物臺，1μm 定位精度

⑥ 光纖共聚焦耦合：

光纖共聚焦耦合為可選項，提高空間分辨率

⑦ CCD- 狹縫共聚焦耦合：

標(biāo)配CCD- 狹縫耦合方式，可使用光譜儀成像模式，高光通量

⑧ 光譜CCD：

背照式深耗盡型光譜CCD相機， 200-1100nm 工作波段，峰值QE ＞ 90%

⑨ 320mm 光譜儀：

F/4.2高光通量影像校正光譜儀， 1*10-5 雜散光抑制比

SPM300 半導(dǎo)體參數(shù)測試儀主要應(yīng)用

選型表

系統(tǒng)參數(shù)

測試案例舉例