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【詳細說明】
產品概述
說明：
此系統是卓立漢光推出的針對半導體晶圓進行微操作、檢驗的通用開發平臺。系統中包括：半導體晶圓裝夾單元、半導體晶圓對位單元、機器視覺單元和微操作機械手單元，配套有完整的運動控制系統和機器視覺軟件。可以根據客戶不同的需求，實現對半導體晶圓進行裝夾、對位、轉印、清潔、檢驗等功能。
半導體晶圓微操作、檢驗設備特點：
- 系統包含完整的裝夾和對位結構，可以根據客戶實際需求定制
- 控制系統和機器視覺系統留有二次開發接口
- 兼容客戶不同的晶圓結構，不同的Mark點圖形、進行不同的操作動作
- 可對半導體晶圓進行多維度微步調整
- 多工位配置，提高工作效率
系統參數：（本系列產品為設計規格，技術指標以最終發布內容為準）
| 指標 | 參數 |
| 機器視覺分辨率(μm) | 0.1 |
| 顯微鏡倍率 | 0.5~4.5 |
| 攝像頭分辨率 | 2048×1536 |
| 幀率（fps） | 15 |
| 攝像頭類型 | 單色 |
| 光源 | 單色同軸光源 |
| Mark點識別重復性(μm) | 0.1 |
| Mark點識別對位精度(μm) | <0.5 |
| 大行程X軸滑臺行程（mm） | 400 |
| 大行程Y軸滑臺行程（mm） | 200 |
| 大行程重復定位精度（μm） | 1 |
| 大行程運動分辨率（μm） | ±1 |
| 精密對位X軸滑臺行程（mm） | 10 |
| 精密對位Y軸滑臺行程（mm） | 10 |
| 精密對位Z軸滑臺行程（mm） | 20 |
| 精密對位線性維度單向重復定位精度（μm） | ±1 |
| 精密對位線性運動分辨率（μm） | 0.1 |
| 精密對位θZ軸滑臺行程（°） | 5 |
| 晶圓工位（個） | 2 |
| 晶圓真空吸附通道（路） | 4 |
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