真空閥門概述

在真空系統中，用來改變氣流方向，調節氣流量大小，切斷或接通管路的真空系統元件稱為真空閥門。

真空閥門在真空系統中的作用是：

(1)開關氣路 如圖1所示，當閥1和閥4關閉，閥2打開時，機械真空泵Ⅲ對容器I抽真空，氣流流經預真空抽氣管路；當閥2關閉，閥4打開時，機械泵可單獨對擴散泵抽真 空；當閥1和閥4同時打開時，擴散泵和機械泵可同時工作，對容器進行抽空，此時氣流流經擴散泵。可見，閥門在這種操作中的作用是開關氣路，改變氣流的流經 路線。

(2)控制氣流大小，調節真空度在圖1中，調節閥1的閥蓋開啟角度，即可調節流經管路的氣流量大小；關閉閥2和閥4，通過放氣閥3可以給機械泵Ⅲ的入口放成大氣；通過放氣閥5可以調節容器內的真空度。

(3)定量充氣如圖2所示，在玻璃閥的柱塞上有個一定體積的小洞，當小洞轉向右邊和高壓氣瓶連通時，小洞中就可充滿高壓氣體；當它轉向左邊和真空容器連通時，就把該體積的高壓氣體放進容器中去，這樣就起到了定量充氣的作用。