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蘇州市創聯凈化設備有限公司
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半導體器件清洗廢水處理方案
| |
一、項目簡介 |
某半導體器件生產廢水情況如下：含氟清洗廢水、研磨清洗廢水、有機廢水（因產生量較少，濃度高，委托第三方處置單位處置）、酸堿廢水，廢水性質主要為清洗廢水，濃度較低，容易處理。廢水經過系統處理后達到國家污水綜合排放標準級標準和納管排放。 |
二、設計技術規范及相關標準 |
| 本污水處理項目的設計，施工與安裝嚴格執行國家的專業技術規范與標準，其主要規范與標準如下： |
| ●《污水綜合排放標準》 GB8978-1996標準 |
| ●《鋼結構設計規范》 GB50017－2017 |
| ●《固定式鋼梯和平臺要求》 GB 4053—2009 |
| ●《機械設備安裝工程施工及驗收規范》 GB50231-2009 |
| ●《現場設備、工業管道焊接施工及驗收規范》 GB50236-2011 |
| ●《電力裝置的繼電保護和自動裝置設計規范》 GBT50062-2008 |
| ●《電氣裝置施工及驗收規范》 GB-50254-96 |
| ●《分散型控制系統工程設計規范》 HGT-20573-2012 |
| ●《工業與民用供配電系統設計規范》 GB-50052-2009 |
| ●《低壓配電裝置及線路設計規范》 GB50054-2011 |
三、項目由來 |
| 該廠區主要廢水生產廢水來源于以下： |
| 3.1、含氟清洗廢水及處理單元預估出水情況 | |||||||
| 處理工藝 | 項目 | 水量(t/a) | pH | COD（mg/l） | SS（mg/l） | F-（mg/l） | 氯化物（mg/l） |
| 一級反應沉淀池 | 進水 | 11520 | 3-4 | 50 | 25 | 300 | 30 |
| 出水 | 11520 | 4-5 | 40 | 17.5 | 60 | 30 | |
| 去除效率% | - | / | 20 | 30 | 80 | / | |
| 二級反應沉淀池 | 進水 | 11520 | 4-5 | 40 | 17.5 | 60 | 30 |
| 出水 | 11520 | 5-6 | 32 | 7 | 12 | 30 | |
| 去除效率% | - | / | 20 | 60 | 80 | / | |
| pH調節池 | 進水 | 11520 | 5-6 | 32 | 7 | 12 | 30 |
| 出水 | 11520 | 6-9 | 32 | 7 | 12 | 30 | |
| 3.2、研磨清洗廢水及處理單元預估出水情況 | |||||
| 處理工藝 | 項目 | 水量(t/a) | pH | COD（mg/l） | SS（mg/l） |
| 反應沉淀 | 進水 | 3840 | 6-9 | 100 | 800 |
| 出水 | 3840 | 7-10 | 100 | 200 | |
| 去除效率% | - | / | 0 | 75 | |
| pH調節池 | 進水 | 3840 | 7-10 | 100 | 200 |
| 出水 | 3840 | 6-9 | 100 | 200 | |
| 3.3、含有機物清洗廢水 |
| 有機清洗廢水排放量較少，僅為144m3/a，經現場收集后委托有資質單位處理處置。 |
3.4、酸堿廢水及處理單元預估出水情況 | ||||||||||||
| 處理工藝 | 項目 | 水量(t/d) | pH | COD | SS | 氨氮 | 總氮 | 總磷 | 硫酸鹽 | 氯化物 | ||
| 一級反應沉淀 | 進水 | 77220 | 4-7 | 60 | 200 | 15 | 40 | 10 | 800 | 70 | ||
| 出水 | 77220 | 5-8 | 48 | 30 | 15 | 36 | 5 | 400 | 70 | |||
| 去除效率% | / | / | 20 | 85 | / | 10 | 50 | 50 | / | |||
| 二級中和 | 進水 | 77220 | 5-8 | 48 | 30 | 15 | 36 | 5 | 400 | 70 | ||
| 出水 | 77220 | 6-9 | 43 | 30 | 15 | 36 | 5 | 400 | 70 | |||
| 去除效率% | / | / | 10 | / | / | / | / | / | / | |||
| pH調節池 | 進水 | 77220 | 6-9 | 43 | 30 | 15 | 36 | 5 | 400 | 70 | ||
| 出水 | 77220 | 6-9 | 43 | 30 | 15 | 36 | 5 | 400 | 70 | |||
| 經詳細了解，該廢水主要污染物為PH、SS值，廢水性質簡單，水質較穩定，未見明顯復雜成分。經過化學調整PH和混凝沉淀后，可以保證達標。 |
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四.污水處理工程建設規模及處理程度 |
4.1處理規模(按照環評意見，每年工作日330天，24小時生產) |
| 序號 | 廢水名稱 | 廢水產生量 |
| 1 | 含氟清洗廢水 | 10T/h |
| 2 | 研磨清洗廢水 | 5t/h |
| 4 | 酸堿廢水 | 40t/h |
| 5 | 合計 | 55t/h |
| 考慮到相關的不確定因素，本方案中設計略放余量,按照300t/d廢水處理能力設計。 |
4.2處理出水指標 |
| 該生產清洗廢水經處理后排放，參考標準為《污水綜合排放標準》GB8978-1996級標準，具體監測因子及水質指標見下表。 |
| 污水排放標準 單位：mg/L （pH值除外） | ||
| 污染物名稱 | 水質標準限值 | 標準來源 |
| pH | 6～9 | 《污水綜合排放標準》 GB8978-1996三級標準 |
| BOD5 | 300 | |
| COD | 500 | |
| SS | 400 | |
| NH3-H | 25 | |
| 動植物油 | 10 | |
| 石油類 | 20 | |
| 磷酸鹽（以p計） | 5 | |
| 總氮 | / | |
| 氨氮 | 25 | |
| 氟化物 | 20 | |
五、清洗廢水處理工藝 |
5.1前處理清洗廢水處理工藝方案的選擇與確定（具體工藝參見工藝流程圖） |
| 5.1.1含氟廢水工藝說明 |
| 含氟清洗廢水進入含氟清洗廢水收集池后，經過PH調整、并添加氯化鈣(CaCl2)產生無害的氟化鈣(CaF2)沉淀，經投加混凝劑(PAC)、絮凝劑(PAM)進行混凝沉降，總除氟效率達到96%以上。含氟廢水采用氯化鈣作沉淀劑處理工藝，為成熟可靠工藝。 |
| 5.1.2研磨廢水處理工藝說明 |
| 研磨清洗廢水進入研磨廢水收集池均質后，通過提升泵提升，調整pH值后加入PAC，PAM充分反應后，進入斜管沉淀池，總除SS效率達到90%，處理后廢水經pH調節槽進入排放系統，產生的污泥進入污泥槽，經污泥脫水形成泥餅，外運。 |
| 5.1.3酸堿廢水處理工藝說明 |
| 一般酸堿廢水采用酸堿中和法處理，酸堿廢水經管道收集后流入廢水處理站的酸堿廢水收集池；依次進入PH調整池，PH調整池中設計PH在線檢測儀，根據PH情況，添加堿液后，再投加一定量的PAC和PAM絮凝劑后，進入沉淀池，防止SS值超標。 經沉淀后的廢水進入pH調節槽，經檢測合格后（pH值達到6~9范圍內）排入公司生產廢水排水管道。 蘇州市創聯凈化設備有限公司，專業提供工業純水設備、廢水處理設備、中水回用設備。產品涉及半導體微電子行業、汽車零部件表面處理、制藥、食品、精洗化工行業。 |
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