AYUMI真空閥

日本AYUMI產品主要包括閥超高真空法蘭墊片夾具固定,電流導入端子的超高真空各種真空元件同步真空組件,真空設備指南,連接器,無釬劑回流設備/減少的連接器,定位儀,真空密封裝置,有機質沉積設備,手套箱和氣體凈化設備,退火裝置,液晶注入設備,各種類型的平板,顯示器制造設備,真空設備,閥門,（如超高真空和真空金屬膜片閥電磁真空閥）,

超高真空法蘭,墊片,夾具,固定電流導入端子的超高真空,各種真空元件,同步真空組件

リークをシャットアウト
ＤＶシリーズはダイヤフラムでバルブの開閉を行いますので、他のバルブのようにシャフトの摺動部からのリークがありません。
イージーメンテナンス
バルブ（SCS-13）とダイヤフラムだけのシンプルな構造で、ボンネットをはずせばメンテナンスも容易にできます。
配管用バルブとしてもフィット
真空だけでなく流體用としても使用が可能です。又、耐　用に種々の材料をコーティング（表面処理）することもできます。（
 

真空設備 
該產品包括但不限于晶片和芯片鍵合機，真空密封系統，一個廣泛系列的輝光箱，真空退火系統用于半導體和平板顯示器的線條，以及真空部件的大的變化。 
目前，產品在主流半導體線，微機電系，FPD線，與企業和大學的研發線中的應用。 
晶圓鍵合系統 
芯片到晶圓鍵合系統 
債券準系統 
真空密封系統 
真空氣相蒸鍍系統 
手套箱和氣體凈化系統