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超純水（尤指18.2MΩ.cm的超純水）純凈程度到了極限(總鹽類濃度在1ppb以下）。在這種情況之下，留在水中并可以導電的陰陽離子，也只剩下1×10-7M的[H＋]及[OH－]了。這時，空氣中二氧化碳的濃度雖然只有0.035%(350ppm)，卻能與水產生化學變化，反應式為：CO2 + H2O <--> H2CO3，當超純水開始曝露在大氣下時，二氧化碳的溶解，就無可避免的持續(xù)下去。這時，導電度會持續(xù)升高(或阻抗持續(xù)下降)，通常，在一小時之內，導電度會由0.055μS/㎝ (18.2MΩ.㎝)升高到0.25μS/㎝以上(4MΩ.㎝以下)，整個過程中水中總離子濃度提高到4.5倍以上。

由此可以得出結論：超純水要現(xiàn)取現(xiàn)用。任何方式的貯存及久放，除了會有容器造成的污染外，可溶性氣體、灰塵、揮發(fā)性有機物、微生物等污染造成的導電度＆TOC上升是無法抗拒的。