中環(huán)真空泵的薄膜式真空計是利用薄膜片受力產(chǎn)生形變的原理而制成的一種相對式真空計, 也是一種全壓強真空計。其特點為精度高, 響應(yīng)快、穩(wěn)定可靠、使用方便, 尤其是結(jié)構(gòu)小巧堅固, 材質(zhì)耐腐蝕, 且能*承受過載運行, 特別適宜于在惡劣環(huán)境中工作, 在這些方面比之于壓縮式真空計具有明顯的*性, 也*避免了使用有毒有害的介質(zhì)。然而, 要采用薄膜真空計替代容積真空泵性能檢測用的壓縮式真空計必須解決以下三個技術(shù)關(guān)鍵。

① 擴展現(xiàn)有薄膜真空計的測量下限。一般而言, 我國現(xiàn)有的薄膜真空計的下限為0.1Pa,為此,必須研制測量下限為0.02Pa以下的低量程薄膜真空計

。
② 消除水、油等可凝性蒸汽的影響, 使薄膜真空計測得的應(yīng)與壓縮式真空測量的同樣是*性氣體的分壓強。
 ③ 薄膜真空計是一種相對真空計, 由顯示儀表輸出的是電參量, 為此必須解決真空計的量值校準(zhǔn)問題。

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