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沃尼風凈化技術(上海)有限公司

初中效過濾棉,初中效濾網,中效袋式濾網,高效空氣過濾器(at0.12um 99.99%),迷你折式,拋棄式,室內可更換式,鋁隔板高效過濾器,V-Bank,FFU

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化學過濾器

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  • 沃尼風凈化技術(上海)有限公司
  • 2024-04-27 10:04:37
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【簡單介紹】

針對不同使用環境的化學過濾器在半導體生產過程中,不僅微小的顆粒甚至是極其微量的化學污染也會降低產品的合格率

【詳細說明】

針對不同使用環境的化學過濾器

在半導體生產過程中,不僅微小的顆粒甚至是極其微量的化學污染也會降低產品的合格率。

因此,半導企業通過安裝高效率的化學過濾器,實現潔凈的生產環境。

我司生產的化學過濾器,能夠有效地去除半導體工廠中的AMCs物質。

AMCsAirbome molecular contamination ) 是半導體生產當中各種化學污染物質的統稱(有機,堿性,酸性氣體)。

特點:

1.去除效率高達90%以上

2.使用壽命長

3.精良的制造技術,安裝方便

4.服務(從附著劑加添,產品組裝到安裝)

5.可以按照客戶的要求設計過濾器

適用范圍:

1.半導體,LCD等超精密制造工藝

2.惡臭以及有害氣體容易產生的地方

3.醫院,博物館公共場所等對空氣環境要求高的場所

主要產品

1.● CAFILDEX® PL系列

規格

CAFILDEX PL系列

大小 (W*L*D/mm)

610*610*150T (接受非標定做)

效率(%)

< 90

速度 (m/s)

~ 2.5

差壓(mmAq)

~ 15.0

媒介

IER, IAC, IA,吸附劑

框架

AL, GI, SUS

適用對象

FFU, EFU, MAU, RAU

目標氣體

NH3, tAcid, VOCs

2.● CAFILDEX® TY系列

規格

CAFILDEX TY系列

大小 (W*L*D/mm)

610*610*450T (接受非標定做)

效率(%)

< 90

速度 (m/s)

~ 2.5

差壓(mmAq)

~ 15.0

媒介

IER, IAC, IA,吸附劑

框架

AL, GI, SUS

適用對象

MAU, RAU

目標氣體

NH3, tAcid, VOCs

3.● CAFILDEX® CE 系列

規格

CAFILDEX® CE系列

大小 (W*L*D/mm)

572*1167*55T (接受非標定做)

效率(%)

< 90

速度 (m/s)

~ 0.45

差壓(mmAq)

~ 3.0

媒介

IER, IAC, IA, 吸附劑

框架

AL, GI, SUS

適用對象

FFU, EFU, MAU, RAU

目標氣體

NH3, tAcid, VOCs

4.● CAFILDEX® BT 系列

規格

CAFILDEX BT系列

大小 (W*L*D/mm)

640*640*470 (接受非標定做)

效率(%)

< 90

速度 (m/s)

~ 0.45

差壓(mmAq)

~ 3.0

媒介

IER, IAC, IA,吸附劑

框架

AL, GI, SUS

適用對象

FFU

目標氣體

NH3, tAcid, VOCs

5

CAFILDEX® SW系列

規格

CAFILDEX SW系列

大小 (W*L*D/mm)

610*610*200T (接受非標定做)

效率 (%)

< 90

速度 (m/s)

~ 2.5

差壓(mmAq)

~ 15

媒介

IER, IAC, IA,吸附劑

框架

AL, GI, SUS

適用對象

FFU, EFU, MAU, RAU

目標氣體

NH3, tAcid, VOCs

    
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