ICP原子發射光譜儀是根據試樣中被測元素的原子或離子，在光源中被激發而產生特征輻射，通過判斷這種特征輻射波長及其強度的大小，對各元素進行定性分析和定量分析的儀器。作為樣品前處理系統即離子激發源，通常接MS或OES聯用。
ICP要求以氣體、蒸氣、細霧滴的氣溶膠或固體小顆粒的形式進樣。樣品導入包括（氣動霧化標準進樣系統或超聲霧化法、氫化物發生、電熱氣化、固體粉末進樣）。
本文主要介紹霧化器選擇需要考慮的因素：
PFA霧化器和普通材質霧化器選擇，耐HF材質一般由聚四氟乙烯、全氟樹脂、陶瓷氧化鋁、聚酰胺等材料制成，主要用于地質、土壤、半導體、合金等含硅化物樣品的檢測。另外，普通霧化器由玻璃或石英制成，主要用于環境水質、簡單金屬、及非HF處理樣品檢測。
總溶解固體量TD：
是霧化器zui基本的指標，界限值都在5 10 20 25 30 40%（W/v），其中30 40 的都是V型或平行霧化器。
懸浮微粒大小：
如測試的樣品是懸浮液（如土壤、廢棄固體、PVC、塑料、生化樣品等的消解液）則一定要用能過通過大微粒的霧化器，否則直接導致其損壞，普通玻璃同心霧化器的一般都可以通過75um的；而V型和平行通道結構的霧化器具有能夠通過大微粒的能力。
測試樣品的種類和被測成分含量高低：
ICP上用的微量霧化器，適合于含量較高濃度分析和ICP-MS分析。
美國Savillex作為Agilent的7x00和8800系列ICP-MS的出廠標準配件供貨商，還與其聯合開發一套PFA配件，其中C700d可同時適用與ICP-OES和ICP-MS。具體選型見下表：
