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噴霧半干法脫硫設備，是把脫硫過程和脫硫產物處理分別采用不同的狀態反應，特別是在濕狀態下脫硫、在干狀態下處理脫硫產物的半干法，既有濕法脫硫工藝反應速度快、脫硫效率高的優點。

噴霧半干法脫硫設備優缺點

工藝流程比石灰石-石膏法簡單，投資也較小。缺點是脫硫率較低，一般為70-80%、操作彈性較小、鈣硫比高，運行成本高、副產物無法利用。國內使用較少，青島黃島電廠使用此工藝，運行存在塔壁積灰、霧化器堵塞磨損嚴重等問題。

目前脫硫設備設計規程要求是大容量機組或設計煤種含硫量超過2%的機組優選濕法工藝，脫硫效率要求90%以上。200MW以下或者剩余壽命低于10年的老機組，以及設計煤種含硫量低于2%的機組，推薦采用干式、半干式或其他費用相對經濟的脫硫技術，脫硫效率要求僅為75%。具體選型根據吸收劑、水、副產品市場等因素和具體要求選取經濟效益工藝。