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日本理研進(jìn)口HBr\HCL\HF氣體檢測器GD-70D

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$日本理研進(jìn)口HBr\HCL\HF氣體檢測器GD-70D$

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更新時間：2022-08-02 11:04:40瀏覽次數(shù)：340次

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產(chǎn)品簡介

日本理研進(jìn)口HBr\HCL\HF氣體檢測器GD-70D

詳細(xì)介紹

顯示內(nèi)容	氣體濃度、流量大小、通訊狀態(tài)、熱分解器狀態(tài)、檢測氣體名稱、故障代碼、故障內(nèi)容
自檢	系統(tǒng)故障、傳感器故障、流量故障、通訊故障
數(shù)據(jù)下載	事件歷史、報警歷史、校正歷史、報警趨勢曲線（一段報警前后180秒）
工作環(huán)境	電源DC24V±10%；0~40℃，30~70%RH無凝結(jié)
尺寸重量	70（W）×120（H）×150（D）mm，0.9kg
優(yōu)勢特點	對應(yīng)所有檢測方式的公共平臺（主機(jī)單元、傳感器單元、泵單元）；通用主機(jī)單元（兼容所有傳感器類型）；多功能傳感器單元（新型智能傳感器）；主機(jī)單元內(nèi)部無氣管/泵單元無線圈；在前面開蓋拆裝/無需工具/易于更換傳感器單元和泵單元；不同通訊方式可選（4-20mA，NT，PoE）；現(xiàn)有單元升級簡單；zui小的維護(hù)成本；環(huán)保，符合標(biāo)準(zhǔn)。
典型應(yīng)用	半導(dǎo)體、液晶、太陽能電池等微電子制造工廠，特種氣體生產(chǎn)、運(yùn)輸、儲存、使用等場合

GD-70D傳感器類型有ESU（定電位電解式）、SGU（半導(dǎo)體式）、SSU（熱分解粒子式）、OSU（原電池式）、NCU（新陶瓷式），檢測氣體及量程如下：

OSU：O₂，0~25%vol

NCU：CH₄、H₂、i-C₄H₁₀，0~*LEL

SSU：TEOS、TMS、TRIMOS，0~15ppm

SGU：H₂，0~500/1000/2000ppm；CH₄、C₃H₈，0~2000/5000ppm；CH₃OH，0~1000/2000ppm；C₂H₂Cl₂，0~600ppm；CH₂Cl₂、CH₃CHOHCH₃、R-32、R-41、COS，0~2000ppm

ESU：NH₃，0~75ppm；AsH₃，0~0.2ppm；Br₂，0~1ppm；CO，0~75/150/300ppm；Cl₂，0~1.5/3ppm；ClF₃，0~0.6ppm；B₂H₆，0~0.3ppm；Si₂H₆，0~15ppm；（CH₃）₂NH，0~15ppm；（CH₃CH₂）₂NH，0~15ppm；F₂，0~3ppm；GeH₄，0~0.8ppm；HBr，0~6/9ppm；HCl，0~6/15ppm；HF，0~3/9ppm；H₂Se，0~0.2ppm；CH₃NH₂，0~15ppm；NO，0~100ppm；NO₂，0~15ppm；NF₃，0~30ppm；O₃，0~0.6ppm；PH₃，0~1ppm；SiH₄，0~15ppm；SO₂，0~6ppm；（CH₃）₃N，0~15ppm；SbCl₅、AsCl₅、AsCl₃、BCl₃、SiH₂Cl₂、GeCl₄、MoCl₅、POCl₃、PCl₅、PCl₃、SiCl₄、SnCl₄、SiHCl₃、WCl₆，0~6/15ppm；AsF₅、AsF₃、BF₃、MoF₆、PF₅、SiF₄、SF₄、WF₆，0~3/9ppm；BBr3，0~6/9ppm