污水處理設備 污泥處理設備 水處理過濾器 軟化水設備/除鹽設備 純凈水設備 消毒設備|加藥設備 供水/儲水/集水/排水/輔助 水處理膜 過濾器濾芯 水處理濾料 水處理劑 水處理填料 其它水處理設備
鄭州科佳電爐有限公司
鄭州科佳電爐有限公司
產品描述：KJ-T1200PECVD是一種PECVD（等離子體增強化學氣相沉積）的管式爐系統，它由500W射頻電源、帶有200毫米直徑石英管的可拆分管式爐、真空泵和三通道質量流量計氣體流動系統組成
產品描述：
KJ-T1200 PECVD 是一種 PECVD（等離子體增強化學氣相沉積）的管式爐系統，它由 500W 射頻電源、帶有 200毫米直徑石英管的可拆分管式爐、真空泵和三通道質量流量計氣體流動系統組成。它可以混合 1-3 種氣體用于 CVD 或擴散。
產品參數：
| 型號 | KJ-T1200 PECVD | |
| 部分：標準件 | ||
| 等離子射頻電源 | 輸出功率 | 5 -500W可調，均勻性 ± 1% |
| RF頻率 | 13.56 MHz ±0.005% | |
| 反射功率 | 200W | |
| 射頻輸出端口 | 50 Ω，N型 | |
| 噪音 | <50 dB. | |
| 冷卻 | 空氣冷卻 | |
| 管式爐部分 | 顯示 | LED |
| 形式 | 分體式和上部可打開 | |
| 連續工作溫度 | ≤1100℃ | |
| 升溫速率 | 建議：0~10℃/min（20℃/min） | |
| 溫區長度 | 500mm | |
| 加熱元件 | 含鉬電阻絲 | |
| 熱電偶 | K型 | |
| 溫度均勻性 | ±1℃ | |
| 爐管尺寸 | 200m外徑 X 長度1600mm | |
| 材質：石英管 | ||
| 溫度控制 | 通SCR功率控制進行 PID 自動控制 | |
| 加熱曲線 | 30步可編程 | |
| 法蘭 | 不銹鋼帶閥真空法蘭 | |
| 電壓 | 380V, 50 Hz, 三相 20KW | |
真空泵 | 旋片真空泵 流量：4L/S 旋片式真空泵將設計成帶輪的推車。 | |
| 質量流量計 | 三款精密質量流量計： MFC 1：氣體流量范圍為 0~100 sccm MFC 2：氣體流量范圍為 0~100 sccm MFC 3：氣體流量范圍從 0~100 sccm （或根據您的要求） 底殼安裝1個氣體混合罐，底殼左側安裝3個不銹鋼針閥，手動控制3種氣體混合  | |
| 數字真空計 | 皮拉尼數字真空計 | |
1、我公司對所供設備提供質保一年保修服務（易損件除外），在保修期內因設備質量原因造成的設備損壞或故障，均予以免費維修。保修期滿后，仍提供終身的、優質的維修服務。
2、在設備使用過程中如遇故障的，我公司將盡快做出處理方案，確保設備正常運行。
3、我公司設提供免費的設備操作培訓和簡單故障排除維修培訓。
4、我公司技術人員可提供(產品安裝調試、整機維護、技術講解及操作指導等)。
5、本公司可提供運輸服務，包裝方式均按照標準安全包裝進行。隨機技術資料齊全（用戶手冊、保修手冊、有關資料及配件、隨機工具等）。
6、本公司所有產品均有歐盟CE質量認證。
您感興趣的產品PRODUCTS YOU ARE INTERESTED IN
環保在線 設計制作，未經允許翻錄必究 .? ? ?
請輸入賬號
請輸入密碼
請輸驗證碼
