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鄭州科佳電爐有限公司


混氣PECVD設備

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產品型號KJ-T1200 PECVD

品       牌

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更新時間:2022-09-02 09:19:30瀏覽次數(shù):392次

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產品簡介

產品描述:KJ-T1200PECVD是一種PECVD(等離子體增強化學氣相沉積)的管式爐系統(tǒng),它由500W射頻電源、帶有200毫米直徑石英管的可拆分管式爐、真空泵和三通道質量流量計氣體流動系統(tǒng)組成

詳細介紹

產品描述:
    KJ-T1200 PECVD 是一種 PECVD(等離子體增強化學氣相沉積)的管式爐系統(tǒng),它由 500W 射頻電源、帶有 200毫米直徑石英管的可拆分管式爐、真空泵和三通道質量流量計氣體流動系統(tǒng)組成。它可以混合 1-3 種氣體用于 CVD 或擴散。
 
產品參數(shù):
 

型號KJ-T1200 PECVD
部分:標準件
等離子射頻電源
 
輸出功率5 -500W可調,均勻性 ± 1%
RF頻率13.56 MHz ±0.005%
反射功率 200W
射頻輸出端口50 Ω,N型
噪音<50 dB.
冷卻空氣冷卻
管式爐部分
 
顯示LED
形式分體式和上部可打開
連續(xù)工作溫度≤1100℃
升溫速率建議:0~10℃/min(20℃/min)
溫區(qū)長度500mm
加熱元件含鉬電阻絲
熱電偶K型
溫度均勻性±1℃
爐管尺寸200m外徑 X 長度1600mm
材質:石英管 
溫度控制通SCR功率控制進行 PID 自動控制
加熱曲線30步可編程
法蘭不銹鋼帶閥真空法蘭 
電壓380V, 50 Hz, 三相 20KW
真空泵
 
旋片真空泵
流量:4L/S
旋片式真空泵將設計成帶輪的推車。
質量流量計三款精密質量流量計:
MFC 1:氣體流量范圍為 0~100 sccm
MFC 2:氣體流量范圍為 0~100 sccm
MFC 3:氣體流量范圍從 0~100 sccm
(或根據您的要求)
底殼安裝1個氣體混合罐,底殼左側安裝3個不銹鋼針閥,手動控制3種氣體混合
 
數(shù)字真空計皮拉尼數(shù)字真空計 
 
 

 
 
 
 
 
 
 

 

 

售后服務

 

 1、我公司對所供設備提供質保一年保修服務(易損件除外),在保修期內因設備質量原因造成的設備損壞或故障,均予以免費維修。保修期滿后,仍提供終身的、優(yōu)質的維修服務。
 2、在設備使用過程中如遇故障的,我公司將盡快做出處理方案,確保設備正常運行。
 3、我公司設提供免費的設備操作培訓和簡單故障排除維修培訓。
 4、我公司技術人員可提供(產品安裝調試、整機維護、技術講解及操作指導等)。
 5、本公司可提供運輸服務,包裝方式均按照標準安全包裝進行。隨機技術資料齊全(用戶手冊、保修手冊、有關資料及配件、隨機工具等)。
 6、本公司所有產品均有歐盟CE質量認證。

 

 


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