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鄭州科佳電爐有限公司
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產品描述：KJ-T1200PECVD是一種PECVD（等離子體增強化學氣相沉積）的管式爐系統，它由500W射頻電源、帶有200毫米直徑石英管的可拆分管式爐、真空泵和三通道質量流量計氣體流動系統組成
產品描述：
KJ-T1200 PECVD 是一種 PECVD（等離子體增強化學氣相沉積）的管式爐系統，它由 500W 射頻電源、帶有 200毫米直徑石英管的可拆分管式爐、真空泵和三通道質量流量計氣體流動系統組成。它可以混合 1-3 種氣體用于 CVD 或擴散。
產品參數：
| 型號 | KJ-T1200 PECVD | |
| 部分：標準件 | ||
| 等離子射頻電源 | 輸出功率 | 5 -500W可調，均勻性 ± 1% |
| RF頻率 | 13.56 MHz ±0.005% | |
| 反射功率 | 200W | |
| 射頻輸出端口 | 50 Ω，N型 | |
| 噪音 | <50 dB. | |
| 冷卻 | 空氣冷卻 | |
| 管式爐部分 | 顯示 | LED |
| 形式 | 分體式和上部可打開 | |
| 連續工作溫度 | ≤1100℃ | |
| 升溫速率 | 建議：0~10℃/min（20℃/min） | |
| 溫區長度 | 500mm | |
| 加熱元件 | 含鉬電阻絲 | |
| 熱電偶 | K型 | |
| 溫度均勻性 | ±1℃ | |
| 爐管尺寸 | 200m外徑 X 長度1600mm | |
| 材質：石英管 | ||
| 溫度控制 | 通SCR功率控制進行 PID 自動控制 | |
| 加熱曲線 | 30步可編程 | |
| 法蘭 | 不銹鋼帶閥真空法蘭 | |
| 電壓 | 380V, 50 Hz, 三相 20KW | |
真空泵 | 旋片真空泵 流量：4L/S 旋片式真空泵將設計成帶輪的推車。 | |
| 質量流量計 | 三款精密質量流量計： MFC 1：氣體流量范圍為 0~100 sccm MFC 2：氣體流量范圍為 0~100 sccm MFC 3：氣體流量范圍從 0~100 sccm （或根據您的要求） 底殼安裝1個氣體混合罐，底殼左側安裝3個不銹鋼針閥，手動控制3種氣體混合  | |
| 數字真空計 | 皮拉尼數字真空計 | |
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