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混氣PECVD設備

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產品型號KJ-T1200 PECVD

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更新時間：2022-09-02 09:19:30瀏覽次數(shù)：392次

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  化學氣相沉積系統(tǒng)(CVD)

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等離子增強CVD系統(tǒng)(PECVD)

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鄭州科佳電爐有限公司

經營模式：生產廠家

商鋪產品：206條

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產品簡介

產品描述：KJ-T1200PECVD是一種PECVD（等離子體增強化學氣相沉積）的管式爐系統(tǒng)，它由500W射頻電源、帶有200毫米直徑石英管的可拆分管式爐、真空泵和三通道質量流量計氣體流動系統(tǒng)組成

詳細介紹

產品描述：
KJ-T1200 PECVD 是一種 PECVD（等離子體增強化學氣相沉積）的管式爐系統(tǒng)，它由 500W 射頻電源、帶有 200毫米直徑石英管的可拆分管式爐、真空泵和三通道質量流量計氣體流動系統(tǒng)組成。它可以混合 1-3 種氣體用于 CVD 或擴散。

產品參數(shù)：

型號		KJ-T1200 PECVD
部分：標準件
等離子射頻電源	輸出功率	5 -500W可調，均勻性 ± 1%
	RF頻率	13.56 MHz ±0.005%
	反射功率	200W
	射頻輸出端口	50 Ω，N型
	噪音	<50 dB.
	冷卻	空氣冷卻
管式爐部分	顯示	LED
	形式	分體式和上部可打開
	連續(xù)工作溫度	≤1100℃
	升溫速率	建議：0~10℃/min（20℃/min）
	溫區(qū)長度	500mm
	加熱元件	含鉬電阻絲
	熱電偶	K型
	溫度均勻性	±1℃
	爐管尺寸	200m外徑 X 長度1600mm
	爐管尺寸	材質：石英管
	溫度控制	通SCR功率控制進行 PID 自動控制
	加熱曲線	30步可編程
	法蘭	不銹鋼帶閥真空法蘭
	電壓	380V, 50 Hz, 三相 20KW
真空泵	旋片真空泵流量：4L/S 旋片式真空泵將設計成帶輪的推車。
質量流量計	三款精密質量流量計： MFC 1：氣體流量范圍為 0~100 sccm MFC 2：氣體流量范圍為 0~100 sccm MFC 3：氣體流量范圍從 0~100 sccm （或根據您的要求）底殼安裝1個氣體混合罐，底殼左側安裝3個不銹鋼針閥，手動控制3種氣體混合
數(shù)字真空計	皮拉尼數(shù)字真空計

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