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鄭州科佳電爐有限公司


滑道式PECVD系統

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具體成交價以合同協議為準

產品型號KJ-T1200-S6044-LK-Z

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更新時間:2022-09-01 16:56:36瀏覽次數:173次

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產品簡介

產品介紹:滑道式PECVD系統由PT-1200T管式爐加熱系統、真空系統、質量流量計供氣系統、等離子射頻電源系統組成

詳細介紹

產品介紹:
    滑道式PECVD系統由PT-1200T管式爐加熱系統、真空系統、質量流量計供氣系統、等離子射頻電源系統組成。借助射頻使含有薄膜組成原子的氣體電離,在局部形成等離子體,而等離子體化學活性很強,很容易發生反應,在基片上沉積出所期望的薄膜。

產品應用:
   PECVD系統是借助射頻使含有薄膜組成原子的氣體電離,在局部形成等離子體,而等離子體化學活性很強,很容易發生反應,在基片上沉積出所期望的薄膜。 該系統廣泛應用于沉積高質量、SiO2薄膜、Si3N4薄膜、SiC薄膜、硬質薄膜、光學薄膜和炭納米管(CNT)、石墨烯材料等。
  
產品參數:
 

產品名稱滑道式PECVD系統
滑軌管式爐部分
產品型號KJ-T1200-S6044-LK-Z
加熱區長度440mm
爐管直徑直徑60mm
工作溫度≦1100℃
溫度1200℃
測溫元件K型熱電偶
溫控系統PID微電腦可編程自動控制
控溫精度±1℃
溫控保護具有超溫和斷偶保護功能
升溫速率0-20ºC/min
加熱元件高電阻電熱合金絲OCr27A17Mo
工作電壓AC 220V 單相 50HZ 
滑軌設計能實現快速升降溫
爐膛材料采用多晶纖維爐膛材料,材料保溫性能好、反射率高、溫場均衡
密封系統該爐爐管與法蘭之間采用O型圈擠壓密封、撤卸方便、可重復撤卸,氣密性好
爐  管高純石英管
法   蘭不銹鋼法蘭,方便拆卸,放取材料
爐殼溫度≤45℃
                     真空系統部分
名稱高真空分子泵組
主要參數真空泵極限真空度10-3 pa(包含KF25接口和可移動箱體)
真空計測量范圍其測量范圍為1×105--1×10-5pa
氣路系統部分
名稱四路質量流量計
氣路四路
流量控制每路氣體含有針閥單獨控制
流量計質量流量計
流量范圍0-1000sccm可調
工作環境溫度5℃-45℃
等離子電源系統
匹配功率范圍0-500W
工作頻率13.56MHZ+0.005%
正常工作反射功率<3W
匹配時間<3S
傳輸效率>90%
匹配器電源AC220V/50-60HZ
輸入連接器N型
輸出連接器UHF
控制模式手動/自動
可設預置點數7
認證*、CE認證
售后服務質保一年,終身保修(耗材類:高溫密封圈、爐管、加熱元件等不屬于質保范圍)

 

 

售后服務

 

 1、我公司對所供設備提供質保一年保修服務(易損件除外),在保修期內因設備質量原因造成的設備損壞或故障,均予以免費維修。保修期滿后,仍提供終身的、優質的維修服務。
 2、在設備使用過程中如遇故障的,我公司將盡快做出處理方案,確保設備正常運行。
 3、我公司設提供免費的設備操作培訓和簡單故障排除維修培訓。
 4、我公司技術人員可提供(產品安裝調試、整機維護、技術講解及操作指導等)。
 5、本公司可提供運輸服務,包裝方式均按照標準安全包裝進行。隨機技術資料齊全(用戶手冊、保修手冊、有關資料及配件、隨機工具等)。
 6、本公司所有產品均有歐盟CE質量認證。

 

 


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