環保在線APP
環保在線手機站
環保在線小程序
微信公眾號
預告
回放
回放
品牌
其他品牌
一、標準制定背景
上海市《半導體行業污染物排放標準》自2007年發布實施后，對規范本市半導體行業廢水和廢氣處理處置起到了重要的作用。在標準實施至今的這十幾年里，從國家到上海，環境管理要求和手段都發生了較大的變化，環境監管能力提升迅速。體現在污染物排放標準的控制上也有了新的要求，如揮發性有機物已經成為國家和上海重要的大氣污染物監管重點，不僅對有組織排放加強了管理要求，還提出了對無組織排放的管理要求。同時，半導體生產工藝一直在向前發展，其工藝和原材料使用等方面都出現了新的變化，有必要通過標準的修訂，對控制因子進行新一輪的篩定。
基于上述考慮，為加強本市半導體行業水和大氣的污染防治，進一步改善本市水和大氣環境質量，有必要對標準進行修定。
二、標準制定歷程
根據地方環保標準制修訂的有關程序，市生態環境局多次聽取有關部門、企業及專家的意見和建議，并于2021年3月和2022年9月兩次向全社會公開征求意見和書面征求意見，同步書面征求了國家行業主管部門、長三角地區、本市相關單位、科研院所、行業組織、排污單位等意見。2023年10月，市生態環境局和市市場監管局組織召開了專家技術審查會，專家組一致同意該標準通過技術審查。
三、標準的適用范圍及主要內容
本標準規定了半導體行業企業水和大氣污染物排放控制要求、監測以及標準的實施與監督等內容，適用于本市范圍內半導體行業企業及研制線水和大氣污染物的排放管理，以及新建、改建、擴建項目的環境影響評價、環境保護設施設計、竣工環境保護驗收、排污許可證核發及其投產后的水和大氣污染控制與排放管理和半導體行業企業的污染物排放許可管理。
根據我國的《國民經濟行業分類》(GB/T 4754-2017)，本標準適用的行業為3972半導體分立器件制造和3973集成電路制造，并包括這兩類半導體產品的封裝測試行業。
四、標準的限值
水方面，本標準設置了21項水污染物控制項目。其中，一類污染物7項，同修訂前標準；二類污染物14項，增加了石油類、總氮、總磷、陰離子表面活性劑4項常規因子及總鋅特征因子，刪除了BOD5。
大氣方面，本標準設置13個有組織大氣污染物控制項目，新增氯氣、氰化氫、錫及其化合物、苯、苯系物、非甲烷總烴、顆粒物和氮氧化物等8項。設置了氰化氫、氯氣、氯化氫、非甲烷總烴等4項指標的無組織控制限值。
五、標準的實施時間
新(改、擴)建的半導體行業企業自本文件實施之日即2024年5月1日起執行；對于半導體行業企業擬自2024年10月1日起執行。
六、標準的實施與監督
本標準由生態環境主管部門負責監督實施。
七、標準文本的獲取方式
標準頒布后，將會在市生態環境局網站上全文公布，大家可自行前往下載。
