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早在1878年人類就發現了太陽光中的紫外線具有殺菌消毒作用。1901年和1906年人類先后發明了水銀光弧這一人造紫外光源和傳遞紫外光性能較好的石英材質燈管，法國馬賽一家自來水廠很快在1910年使用紫外線消毒器消毒工藝。人類對紫外線消毒技術在城市污水處理中的應用則始于20世紀60年代中葉，并于70年代到80年代初對污水紫外線消毒器消毒在城市污水處理中的應用進行了大量早期的研究，這主要是由于當時人們已認識到被廣泛使用的加lv消毒工藝中的余lv對受納水體中的魚類等生物有毒，而且發現并確認了lv消毒等化學消毒方法會產生如三鹵甲烷(THMs)等致癌、致基因畸變的副產物。這些發現促使人類尋求一種更好的消毒方法。　

加拿大安大略省水資源委員會于1965年和1969年對紫外線消毒技術應用于城市污水處理以及對受納水體的影響進行了研究和評估。其他加拿大研究人員對紫外線消毒的效果、技術可行性、影響效果的水質因素、對受納水體中魚類的影響、消毒副產物以及與加lv消毒技術經濟比較進行了大量性的研究工作。這些研究結果表明，污水紫外線消毒器的紫外線污水消毒技術可行，可達到和加lv相同甚至更好的消毒效果。對受納水體中生物無毒副作用，不產生消毒副產物。以上研究為推動污水紫外線消毒器消毒在城市污水處理中的應用奠定了基礎。

1982年加拿大某公司發明了世界上*套明渠式安裝的污水紫外線消毒器系統，并引進了模塊化污水紫外線消毒器消毒系統概念，即紫外線系統可由若干獨立的紫外燈模塊組成，且水流靠重力流動，不需要泵、管道以及閥門。系統維護可對單個模塊進行，且紫外燈模塊可輕易地從明渠中直接取出進行維護檢修，維護時系統無需停機，可繼續運行消毒，因而無需備用設備，如果需要對明渠進行清理也很方便。模塊化明渠式污水紫外線消毒器消毒裝置大大降低了紫外線污水消毒的成本并使得系統維護簡單方便。同時，當污水處理廠在擴建或改造時，只需適當增加紫外燈模塊的數量，而無需添購整套系統，可以節省設備投資，使用起來非常靈活。這一發明得到了污水處理廠的歡迎，大大推動了污水紫外線消毒器消毒技術在城市污水消毒處理中的應用。在世界各地已經有3000多家城市污水處理廠安裝使用了污水紫外線消毒器消毒系統，其中95%以上的系統采用了明渠式模塊化污水紫外線消毒器系統的創意。這些污水紫外線消毒器消毒系統規模小的每天處理幾千m3，大的每天處理上百萬m3。而且這些污水紫外線消毒器價格成本已經很低了。