產品特點
;靈敏度高，有極小的始動流量；
;傳感芯片采用熱質量流量計量，無需溫度壓力補
償，保證了流量計的高精度計量；
;在單個芯片上實現了多傳感器集成，使其量程比
達到了100:1甚至更高；
;各種連接方式，易于安裝與使用；
;輸出方式靈活，既可通過通訊接口主動上傳數據或
由上位機查詢輸出數據，也可通過模擬接口輸出
線性的模擬電壓；
;LED顯示瞬時流量和累積流量，允許現場用鍵盤配
置流量計參數；
;可記錄自上電以來瞬時流量的zui大值和zui小值，具
有超量程指示功能；
;零點穩定度高；
;全量程高穩定性、高精確度和優良的重復性；
;低功耗、低壓損；
;響應速度快。

產品簡介
氣體質量流量計是專門為各類小流量氣體的測量和過程控制而設計的。這一系
列流量計均采用本公司研發（MEMS）流量傳感芯片來制作，適用于各類清
潔、干燥氣體。*的封裝技術使之在相同的管徑下可測量不同范圍的流量，成本低、易安
裝、不需要溫度壓力補償，可替代容積式或壓差式的傳統流量計并配以多種信號輸出，通過通
訊接口可實現對流量計的靈活配置與參數查詢。
具備LED數字顯示和按鍵功能，允許用
戶在現場調整或查詢流量計的參數。

產品應用
;環境監測
;電纜充氣機
;麻醉機
;呼吸機
;設備通風檢測裝置
;其他工業應用


性能指標
部件描述
性能參數 單位
通徑： 8 mm
zui大流量： 20 SLPM
量程比：100：1
精度%： ±（1.5+0.2FS）
重復性%： 0.75
零點輸出漂移mV：±30
輸出漂移% / ℃：0.16
響應時間ms：100（默認，50，100，200，500，1000可設置）
工作電源：8～18Vdc，100mA
輸出方式：RS232, RS485, 模擬電壓0.5~4.5Vdc
顯示方式：4位7段LED數碼管顯示，2個指示燈
指示單位：瞬時流量：SLPM；累積流量：SL
顯示分辨率SLPM： 0.01，0.1可設置
zui大流量壓損： 600 Pa
zui大工作壓力MPa：1.0
工作溫度℃：-10～+55
儲存溫度℃：-20～+65
工作濕度%RH：<95
機械接口：R 8mm螺紋接口（外） /快插
鍵盤：三個按鍵
引出線：5針插頭，配0.5m電纜
標準校準氣體空氣（或其他氣體），20℃，101.325kPa
重量g：57


歷史資料:2010-01-12版本  2010-01-12版本  2010-01-12版本